Сборка и монтаж интегральных микросхем. Романова М.П. - 69 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

69
вытекающего из загерметизированного прибора (корпуса). При молекулярном ис-
течении газа
12
1
pp
p
M
M
SB
атм
в
и
−
=
γ
β
, (7.1)
где S
и
– чувствительность схемы измерения, (л · Па)/ /(с · мВ); β – показания мил-
ливольтметра масс - спектрометра, мВ (фиксируется превышение отсчета прибора
над фоном, который определяется заранее для каждого измерения);
γ – концентрация газа в приборе, г/л; p
1
– давление в откачиваемой камере (может
быть принято равным нулю); р
2
– давление газа в приборе, Па. Для гелия формула
имеет вид
2
282
p
S
B
и
γ
β
=
(7.2)
Обычно проверка на герметичность корпусов ГИФУ проводится дважды: при
испытаниях корпусов (с технологическим присоединением крышки корпуса или с
опаяной крышкой) и перед заполнением нейтральным газом корпуса с установлен-
ными и смонтированными ячейками и присоединительной крышкой. Как отмеча-
лось, заполнение газом проводится через специальный штенгель в корпусе (медная
трубка диаметром 0,5—5 мм); после этого проводится диффузионная сварка (опай-
ка) и удаление ненужной части штенгеля корпуса.
Рис. 7.6. Структурная схема установки для проверки герметичности блоков:
1
–
масс-спектрометрический течеискатель ПТИ-7; 2, 3, б, 12
–
вакуумные вентили;
4
–реактор; 5
–
блок МЭА; 7
–
осушитель газа; 8
–
стабилизатор давления; 9
–
редуктор;
10 – баллон с газом; 11 – манометр; 13, 15 – термопарные манометры;
14 – механический вакуумный насос.
8. РАСЧЕТ ТЕПЛОВОГО РЕЖИМА ГИБРИДНОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ

Страницы