Проектирование специализированных СБИС. Рындин Е.А. - 18 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

20
ность получаемого при этом рентгеновского излучения составляет порядка 10
мВт, причем излучение распределено по полусфере (рис. 13) [3-5].
Для создания источников рентгеновского излучения высокой интенсив-
ности используются вращающиеся аноды с водяным охлаждением. Материал
мишени выбирается исходя из требуемых величин теплоемкости, теплопро-
водности, а также требуемых характеристик тормозного излучения. Например,
алюминиевый анод диаметром 20 см, вращающийся с частотой 8000 об/мин,
может рассеять мощность порядка 20 кВт при диаметре электронного луча 6
мм [3-5].
Следующая трудность состоит в том, что для рентгеновского излучения не
существует соответствующих зеркал и линз вследствие малой длины волны и,
соответственно, высокой проникающей способности. Поэто му источник рент-
геновских лучей должен быть удален от шаблона и резиста достаточно сильно,
чтобы лучи падали с возможно меньшей расходимостью (см. рис. 1 3). Конеч-
ные размеры источника и расходимость лучей вызывают полутени и геомет-
рические искажения.
Данная трудность усугубляется тем, что зазор между шаблоном и рези-
стом должен быть достаточно большим, чтобы исключить касание с учетом
кривизны поверхности пластины, так как это может быть причиной возникно-
вения дефектов (рис. 14, 15).
Необходимость данного
требования обусловлена осо-
бенностями рентгеношаблонов.
Основная проблема состоит в
изготовлении тонких, но доста-
точно прочных подложек, про-
зрачных к рентгеновскому
излучению, так как мощность
источников излучения крайне
мала. Для этой цели использу-
ют различные органические и
неорганические мембраны. Органические пленки изготавливаются на основе
мулара, каптона, пиолена и полиимида. Неорганические содержат кремний,
окисел кремния, карбид кремния и окисел алюминия. Поглощающая пленка
обычно состоит из двух слоев: тонкого слоя хрома, используемого для улуч-
шения адгезии, и слоя золота.
И еще одна проблема рентгенолитографии связана с рентгенорезистами.
Вследствие малой поглощательной способности существующих рентгенорези-
стов, а также малой интенсивности источников излучения, требуется продол-
жительное время экспозиции - несколько часов. Большинство резистов по-
Рис. 14. Конструкция рентгеношаблона

Страницы