Проектирование специализированных СБИС. Рындин Е.А. - 25 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Астигматизм проявляется в отклонении или смещении элементов элек-

тронно-оптической системы относительно оптической оси. Для устранения

астигматизма используют многополюсный электростатический или магнит-

ный элемент, называемый стигматором (рис. 20).

Еще одним видом искажений, характерным для электронно-лучевой ли-

тографии, являются искажения формы рисунка, обусловленные эффектом

близости - рассеянием электронов в слое резиста.

2.5. Конструкция электронно-оптической системы

Рассмотрим пример конструкции электронно-оптической системы. Для

обеспечения малого времени экспонирования и высокой разрешающей спо-

собности необходимо обеспечить диаметр электронного луча в месте падения

на поверхность объекта около 100 нм при достаточно большом токе луча.

Кроме того, для уменьшения краевых искажений, возникающих при сканиро-

вании луча, фокусное расстояние линзы должно быть большим [3-5].

Типовая схема электронно-оптической системы приведена на рис. 21.

Основными элементами данной установки являются:

1) электронная пушка;

2) диафрагма 1, пропускающая часть электронного луча, с целью уменьшения

аберраций;

3) юстировочные катушки, использующиеся для регулировки ориентации

электронного луча вдоль оси системы при механических перемещениях

электронной пушки;

Рис. 20. Магнитный стигматор