Проектирование специализированных СБИС. Рындин Е.А. - 24 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ра электронного луча. Если луч имеет изменяемую форму, ток луча пропор-

ционале площади его поперечного сечения в месте его падения на поверх-

ность образца.

2.4. Аберрации (искажения) электронно-оптической системы

Аберрации приводят к тому, что сечение пу чка электронов не может

быть меньше некоторого предельного значения, называемого кругом наи-

меньшего рассеяния. Применительно к электронно-лучевым установкам наи-

более значительными являются следующие виды аберраций [3-5]:

1) сферическая;

2) хроматическая;

3) астигматизм.

В случае сферической аберрации диаметр круга наименьшего рассеяния

определяется пересечением нескольких проходящих через линзу траекторий

электронов, которые не фокусируются в одной и той же точке на оптической

оси. Этот дефект вызван тем, что напряженности фокусирующих полей выше

вблизи создающих их электродов, чем около оси.

Вносимую линзой сферическую аберрацию пучка нельзя скомпенсиро-

вать никакой последующей оптической системой, поэтому при проектирова-

нии каждого элемента электронно-оптической системы необходимо добивать-

ся наименьшей величины аберрации данного вида.

Хроматическая аберрация связана с зависимостью фокусирующих

свойств электронной линзы от энергии пролетающих через нее электронов.

Частица с большей энергией будет сфокусирована на большем расстоянии от

линзы, чем частица с меньшей энергией.