Проектирование специализированных СБИС. Рындин Е.А. - 28 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 23. Магнитная линза

Следует отметить, что магнитные линзы являются собирающими незави-

симо от направления тока в катушке. То есть рассеивающую магнитную линзу

изготовить невозможно, что является основным недостатком таких систем.

2.6. Методы переноса рисунка на поверхность полупроводниковых

пластин

В настоящее время в рамках фотолитографии, рентгенолитографии, элек-

тронно-лучевой и ионной литографии разработано множество методов пере-

носа рисунка на поверхность кристаллов СБИС. Каждый из этих методов име-

ет свои преимущества и недостатки по сравнению с остальными, что опреде-

ляет область его применимости. Для выбора наиболее эффективного по сово-

купности технико-экономических параметров метода формирования рисунка

необходимо рассмотреть основные особенности методов и произвести их

классификацию [3].

Методы переноса рисунков на поверхность полупроводниковых пластин

можно разделить на две основные группы: перенос рисунков с использовани-

ем шаблонов или масок и бесшаблонные методы, в которых формирование

рисунка осуществляется сканированием сфокусированным лучом фотонов,

электронов или ионов (рис. 24).

Методы переноса рисунка

Шаблоны Сканирование

Контактная печать Бесконтактная печать Растровое Векторное