ВУЗ:
Составители:
35
Рис. 26. Методы выращивания монокристаллических слитков кремния
Установка для выращивания монокристаллических слитков кремния ме-
тодом Чохральского включает в себя корпус рабочей камеры, в которую пода-
ется инертный газ (как правило, аргон под давлением 10
3
- 10
5
Па), катушку
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 31
- 32
- 33
- 34
- 35
- …
- следующая ›
- последняя »
