Физико-химические основы технологии электронных средств. Шелохвостов В.П - 19 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГТУ | Тамбов

Составители: 

Рубрика: 

где
ν
в
– кинематическая вязкость раствора; n – число оборотов диска в 1 с.
Для растворяемой пластины расположенной вертикально скорость растворения
S
C
h
g
D
Dj
4
1
2
в
4
1
в
п
4
7,0
ν
ν
=
, (4.8)
где g – ускорение силы тяжести; h – высота пластины.
Скорость растворения твердых тел с учетом двух основных стадий (поверхностной реакции и диф-
фузии)
()
VSm
a
xR
DR
CC
RT
E
CK
jjj −β
+
−
=+=
1
exp
1111
эф
. (4.9)
Поскольку в начале концентрация растворенного вещества С
V
= 0, то скорость будет максимальной.
Со временем С
V
увеличивается и скорость растворения падает.
Толщина диффузионного слоя δ характеризует условие растворения у поверхности. Для верти-
кально стоящей пластины
−
ν
ν
=δ
−
−
S
V
C
С
h
g
D
1
4
7,0
1
4
1
2
в
4
1
в
п
. (4.10)
Оптимальное условие растворения – когда j
R
= j
D
. Температура при которой j
R
= j
D
называется кри-
тической Т
кр
. При этом критическая энергия активации:
ν
−=
fСh
CgD
RTE
x
S
4
1
в
4
1
4
1
4
3
кр a
7,0
lg3,2
; (4.11)
3
2
ρ
=
M
N
C
A
x
; (4.12)
h
k
f
D
Θ
=
, (4.13)
где N
A
– число Авогадро; ρ – плотность металла; M – молярная масса;
k – постоянная Больцмана; Θ
D
– характеристическая дебаевская температура; h – постоянная Планка.
В технологии производства ЭС обработка поверхности твердых тел растворами используются
для вытравливания заданного профиля или конфигурации.
Травление делится на полирующее и селективное. Полирующее используется для полировки по-
верхности и вытравливания различных рисунков. Селективное – для вытравливания заданной конфигу-
рации в слоях твердого тела. При полирующем травлении скорость травления не зависит от энергии ак-
тивации, при селективном зависит. За счет различия в энергиях активации удается растворить отдель-
ные материалы, не затрагивая других. Скорость травления определяется из соотношения
−β+β
−β
=
RT
E
CCKC
RT
E
CCK
j
xSRmSm
xSRm
a
a
эф
exp
exp
, (4.14)

Страницы