ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
jS
P
d
∆
=
, (6.13)
где j – удельный вес вещества пленки; S – площадь, занимаемая пленкой.
Из методов многолучевой интерферометрии чаще всего применяют способ полос равной толщи-
ны. В основе его лежит получение разности фаз двух когерентных лучей, отраженных от подложки и
поверхности пленки. Перед измерением на образце получают так называемую ступеньку – резкую бо-
ковую границу пленки на подложке. Это достигается либо с помощью маскирования части подложки
при осаждении пленки, либо путем химического удаления части осажденной пленки. Чередующиеся
светлые и темные интерференционные полосы с шагом Н как на поверхности пленки, так и на подложке
смещены относительно друг друга у границы пленки на величину ∆Н (рис. 6.1).
Толщину пленки d рассчитывают по формуле
Η
Η
d
2
∆λ
=
, (6.14)
где λ – длина волны монохроматического света.
Если пленка прозрачная, то на пленку и подложку районе «ступеньки» осаждают дополнительно не-
прозрачную, хорошо отражающую металлическую пленку, например, алюминий. Для уменьшения вноси-
мой
погрешности ее толщина должна быть много меньше толщины измеряемой пленки.
Относительная ошибка метода составляет не более 5 % при толщинах пленки более одного мкм и
порядка 10 % при толщинах менее 1 мкм.
Рис. 6.1 Картина сдвига интерференционных полос микроскопа:
1 – измеряемая пленка; 2 – подложка; 3 – интерференционные полосы
Таблица 6.1
Толщина окисных пленок, мкм
Порядок интерференции
Цвет
1 2 3 4
Серый 0,01 – – –
Рыжевато-коричневый 0,03 – – –
Коричневый 0,05 – – –
Голубой 0,08 – – –
Фиолетовый 0,1 0,2750 0,4650 0,6500
Синий 0,15 0,30 0,49 0,6850
Зеленый 0,185 0,33 0,52 0,7200
Желтый 0,21 0,37 0,56 0,75
Оранжевый 0,225 0,40 0,60 –
Красный 0,250 0,4350 0,6250 –
Лабораторное задание
Лабораторная работа в полном объеме рассчитана на шесть часов и предусматривает эксперимен-
тальную, расчетную части и оформление:
2
1
3
d
H
∆
