ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Ф48 Физико-химические основы технологии электронных средств: Лаб. работы / Сост.: В.П.
Шелохвостов, С.Н. Баршутин. Тамбов:
Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2004. Ч. 1. 32 с.
Представлены лабораторные работы по основным физико-химическим процессам в технологии
электронных средств: элементы, компоненты и топология интегральных средств, влияние темпера-
туры на скорость химической реакции, электролиз, химическое травление, очистка подложек, окис-
ление кремния.
Предназначены для студентов 3 и 4 курсов дневной и заочной форм обучения специальности
210200.
УДК 621.3.049.77
ББК Á 844-06 я 73-5
© Тамбовский государственный
технический университет
(ТГТУ), 2004
Учебное издание
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ
ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ
Часть 1
Лабораторные работы
Составители:
ШЕЛОХВОСТОВ Виктор Прокопьевич,
БАРШУТИН Сергей Николаевич
Редактор В.Н. Митрофанова
Инженер по компьютерному макетированию Т.А. Сынкова
Подписано к печати 2.11.2004
Формат 60 × 84/16. Гарнитура Times. Бумага газетная. Печать офсетная
Объем: 1,86 усл. печ. л.; 1,80 уч.-изд. л.
Тираж 100 экз. С. 739
Издательско-полиграфический центр
Тамбовского государственного технического университета
392000, Тамбов, ул. Советская, 106, к. 14
