Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 100 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

100
d, мкм Оттенок
0,6800 голубоватый
0,6826
голубовато-зеленый
0,7200 зеленый
0,7700 желтоватый
0,7793 бледно-розовый
0,8000 оранжевый
0,8200 желтовато-розовый
0,8500
светло-красновато-фиолетовый
0,8600 фиолетовый
0,8700 голубовато-фиолетовый
0,8893 бледно-зелено-голубоватый
0,8900 голубой
0,9200 голубовато-зеленый
0,9500 желто-зеленый
0,9700
V
желтый
Определение толщины металлических и оксидных пленок оптическими методами.
Оптическая плотность пленки определяется выражением:
)/lg(
10
IID
=
, где
I
0
и I
1
– интенсивность излучения, падающего на пленку, и прошедшего сквозь нее.
Интенсивность прошедшего через пленку излучения в случае достаточно
толстой пленки выражается соотношением Бугера-Ламберта:
)
4
exp(
01
λ
π
nkd
II −= , где
d – толщина пленки, n и k – коэффициенты, характеризующие затухание световой
волны в материале, λ – длина волны.
Таким образом, зная коэффициенты n и k, и измерив экспериментально
оптическую плотность пленки, можно рассчитать ее толщину.
Значения коэффициентов n и k для ряда материалов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
λ=500 нм Материал
n k
Cu 1.06 2.55
Fe 1.46 2.17
Mo 3.15 1.18
Ni 1.54 2.01
V 2.65 2.56
В случае, если пленка была получена в учебной лаборатории в процессе
реактивного распыления, определить степень окисления точно не представляется
возможным. Однако можно провести оценку степени окисления по цвету пленки.
Таблица 3.
Окисел Цвет
V
2
O
5
оранжевый
V
2
O
3
черный
VO
2
синий
VO светло-черный 
        d, мкм                                             Оттенок
        0,6800                                голубоватый
        0,6826                                голубовато-зеленый
        0,7200                                зеленый
        0,7700                                желтоватый
        0,7793                                бледно-розовый
        0,8000                                оранжевый
        0,8200                                желтовато-розовый
        0,8500                                светло-красновато-фиолетовый
        0,8600                                фиолетовый
        0,8700                                голубовато-фиолетовый
        0,8893                                бледно-зелено-голубоватый
        0,8900              V                 голубой
        0,9200                                голубовато-зеленый
        0,9500                                желто-зеленый
        0,9700                                желтый
Определение толщины металлических и оксидных пленок оптическими методами.
        Оптическая плотность пленки определяется выражением:
                                 D = lg( I 0 / I1 ) , где
I0 и I1 – интенсивность излучения, падающего на пленку, и прошедшего сквозь нее.
        Интенсивность прошедшего через пленку излучения в случае достаточно
толстой пленки выражается соотношением Бугера-Ламберта:
                                             4πnkd
                            I1 = I 0 exp(−         ) , где
                                               λ
d – толщина пленки, n и k – коэффициенты, характеризующие затухание световой
волны в материале, λ – длина волны.
       Таким образом, зная коэффициенты n и k, и измерив экспериментально
оптическую плотность пленки, можно рассчитать ее толщину.
       Значения коэффициентов n и k для ряда материалов приведены в таблице 2.
                                                                     Таблица 2.
         Материал                                λ=500 нм
                                        n                         k
            Cu                        1.06                      2.55
             Fe                       1.46                      2.17
            Mo                        3.15                      1.18
             Ni                       1.54                      2.01
             V                        2.65                      2.56
       В случае, если пленка была получена в учебной лаборатории в процессе
реактивного распыления, определить степень окисления точно не представляется
возможным. Однако можно провести оценку степени окисления по цвету пленки.
                                                                     Таблица 3.
                 Окисел                                    Цвет
                  V2 O5                                оранжевый
                  V2 O3                                  черный
                  VO2                                     синий
                   VO                                светло-черный

                                        100

Страницы