Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 101 стр.

                   Fe2O3                                красный
                    FeO                                 черный
      Для определения толщин пленок оптическим методом в лаборатории
используется прибор "Specord UV-VIS".
      "Specord UV-VIS" - автоматический двулучевой спектрофотометр,
регистрирующий линейно пропускание или экстинкции проб как функцию
волнового числа. Представление спектров через волновое число является удобным,
так как по соотношению:
                                 E=hν=hc/λ=hcω, где
Е-энергия; h-постоянная Планка; c-скорость света; ν-частота; λ -длина волны; ω-
волновое число - энергия прямо пропорциональна волновому числу.
      В качестве источника света в ультрафиолетовой области спектра
используется дейтериевая лампа, в видимой - лампа накаливания. Световой пучок
попадает на входную щель монохроматора, откуда монохроматический пучок
направляется на зеркальный прерыватель, где он разделяется на два потока,
образующие канал образца (измерения) и канал сравнения. На приемник
излучения, в качестве которого используется сурьмяно-цезиевый фотоумножитель,
падает свет то из канала образца, то из канала сравнения. Регистрация спектров
производится пером на специальном бланке.
      Отсчет волнового числа осуществляется по нониусу. При работе
используются следующие масштабы ординат:
      0-100% - стандартная область;
      0-20% - растяжение ординат для образцов с малой проницаемостью;
      -0,1÷ +1,4 - экстинкция.

Определение глубины залегания p-n перехода.
      Для экспериментального измерения глубины диффузионного слоя на
практике и в лабораторных условиях применяется метод сферического шлифа.
      На установке, где инструментом является вращающийся шар, с помощью
алмазной пасты на поверхности полупроводниковой платины вышлифовывается
лунка полусферической формы.
                                                        d1
                                                        d2

               d1


    p                           γ



   n          d2


                                                             l

         Рис. 1. Принцип определения глубины залегания p-n перехода.
     Для выявления n и p областей в лунку наносятся капля одного из
подходящих для этой цели травителей, в результате чего p-область либо
окрашивается, либо становится более темной. После промывки и сушки образец

                                      101