Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 103 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

103
Кнопочное управление на лицевой панели:
Сеть
Быстро вперед. Каретка быстро двигается влево, одновременно
происходит прогон волнового числа.
Быстро назад. Каретка быстро двигается вправо.
Регистрация с автоматическим возвратом каретки.
Пуск. Начало записи спектра.
Стоп. Регистрирующее устройство останавливается.
Источник излучения.
Требования к отчету
Отчет должен содержать:
1. Титульный лист;
2. Цель работы;
3. Краткие сведения о методах определения толщин тонких пленок
4. Результаты выполнения заданий в виде таблиц;
5. Выводы по работе.
Лабораторное задание
Домашняя работа:
1. Ознакомиться с описанием лабораторной работы.
2. Подготовить 1 экземпляр формы таблицы 1.
Форма таблицы 1
№
образца
Пропускание T, % Оптическая
плотность D
Толщина
пленки d,
мкм
1.
2.
3. Выполнить пункты 1-4 требований к отчету.
4. Изучить теоретические сведения.
5. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
Работа в лаборатории:
1. Получить у преподавателя образцы пленок.
2. Определить толщину пленок SiO
2
методом цветовых оттенком Ньютона.
3. Определить толщины металлических и оксидных пленок металла на
прозрачной подложке, используя оптический метод. Для выполнения данного
пункта задания использовать пленки, полученные методом 3-х электродного
распыления в лабораторной работе 4.
4. Определить глубину залегания p-n перехода в кремниевой подложке.
5. Оформить результаты выполнения пунктов 2 и 4 в произвольной форме,
результаты выполнения пункта 3 в виде таблицы (Форма 1).
Порядок выполнения работы
1. Ознакомьтесь с выданными пленочными образцами на подложках.
2. Используя таблицу цветовых оттенков Ньютона, определите толщину
пленки SiO
2
, зарисуйте интерференционные кольца.
3. Ознакомьтесь с порядком работы на приборе Specord UV-VIS.
~ 
                       Кнопочное управление на лицевой панели:
      ~         Сеть
                Быстро вперед. Каретка быстро двигается влево, одновременно
                происходит прогон волнового числа.
                Быстро назад. Каретка быстро двигается вправо.
                Регистрация с автоматическим возвратом каретки.
                Пуск. Начало записи спектра.
                Стоп. Регистрирующее устройство останавливается.
                Источник излучения.

     Требования к отчету
     Отчет должен содержать:
1.   Титульный лист;
2.   Цель работы;
3.   Краткие сведения о методах определения толщин тонких пленок
4.   Результаты выполнения заданий в виде таблиц;
5.   Выводы по работе.

     Лабораторное задание
     Домашняя работа:
1.   Ознакомиться с описанием лабораторной работы.
2.   Подготовить 1 экземпляр формы таблицы 1.
                                                            Форма таблицы 1
        №               Пропускание T, %           Оптическая     Толщина
      образца                                      плотность D    пленки d,
                                                                    мкм
          1.
          2.
3.    Выполнить пункты 1-4 требований к отчету.
4.    Изучить теоретические сведения.
5.    Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
      Работа в лаборатории:
1.    Получить у преподавателя образцы пленок.
2.    Определить толщину пленок SiO2 методом цветовых оттенком Ньютона.
3.    Определить толщины металлических и оксидных пленок металла на
прозрачной подложке, используя оптический метод. Для выполнения данного
пункта задания использовать пленки, полученные методом 3-х электродного
распыления в лабораторной работе 4.
4.    Определить глубину залегания p-n перехода в кремниевой подложке.
5.    Оформить результаты выполнения пунктов 2 и 4 в произвольной форме,
результаты выполнения пункта 3 в виде таблицы (Форма 1).
      Порядок выполнения работы
1.    Ознакомьтесь с выданными пленочными образцами на подложках.
2.    Используя таблицу цветовых оттенков Ньютона, определите толщину
пленки SiO2, зарисуйте интерференционные кольца.
3.    Ознакомьтесь с порядком работы на приборе Specord UV-VIS.

                                      103

Страницы