Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 102 стр.

подвергается микроскопическому исследования, где с помощью шкалы в окуляре,
цена деления которой известна, измеряются диаметры лунки d1 и нижней границы
перехода d2.
      Зная диаметр шлифующего шара D можно рассчитать глубину залегания
перехода:
                                    d − d2
                                       2     2

                                xγ = 1
                                       4D
      В случае, если в расчет берется длина хорды лунки l расчетная формула
имеет вид:
                                        l2
                                   xγ =
                                        4D
      Для оценки достоверности экспериментальных результатов измерения
глубины залегания перехода можно использовать приближенное эмпирическое
уравнение:
                             xγ = 5,4 Dt , где
D-коэффициент диффузии примеси, t - время диффузии.

      Описание лабораторного макета
      Лабораторный макет состоит из лупы, микроскопа, набора образцов и
спектрофотометра "Specord UV-VIS". Для выполнения лабораторной работы
берутся уже готовые образцы, либо полученные самостоятельно на различном
напылительной оборудовании.

      Порядок работы на спектрофотометре "Specord-UV VIS".
      1. Включить вилку прибора в сеть. Нажать кнопку "Сеть".
      2. Включить лампу (источник света) для соответствующего участка спектра.
      3. Вставить перо самописца.
      4. Используя кнопки "Быстро вперед" и "Быстро назад", по нониусу против
нуля установить целое число (например 21000 см-1). Положить регистрационный
лист на каретку самописца так, чтобы при закрытом канале измерения перо
самописца находилось в точке пересечения горизонтальной нулевой линии и
вертикальной черты.
      5. Проверить положение нуля и правильность установки регистрационного
листа, проведя пробную регистрацию (нажать кнопку "Пуск").
      6. Установить 100%-ю линию. Открыть канал измерения и провести
пробную регистрацию. Если регистрируемая линия проходит параллельно 100%, то
она выводится на 100%-ю ручкой 100%-й коррекции.
      7. Нажать кнопку "Быстро назад". Каретка быстро движется вправо, а
регистрирующее устройство занимает крайнее левое крайнее.
      8. Поместить измеряемый образец в кюветный отсек в ближний канал.
      9. Нажать кнопку “Пуск”. Начатая таким образом регистрация может быть
прервана в любом месте нажатием клавиши “Стоп”.
      10. Вынуть регистрационный лист, выключить лампу кнопку "Сеть".




                                     102