Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 2 стр.

УДК 621.382

Шутов Д.А., Ситанов Д.В. Процессы микро- и нанотехнологий : Лабораторный
практикум. Том 1 / Иван. гос. хим. – технол. ун-т. – Иваново, 2006, - 141 с. ISBN .


      Первый том данного лабораторного практикума содержит описание и
порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу «Процессы
микро- и нанотехнологий», входит в комплект базовых учебных пособий по
данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 «Микроэлектроника и
твердотельная микроэлектроника» и посвящен изучению технологий изготовления
печатных плат, фотошаблонов, конструкций и технологий узлов поверхностного
монтажа компонентов, а также методов контроля толщин тонких пленок.
      Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое
введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы,
лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.
      При подготовке лабораторного практикума были использованы
методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ «Протон» г. Зеленоград.

      Печатается по решению редакционно-издательского совета Ивановского
государственного химико-технологического университета

Рецензенты:
      кафедра математики, экономической информатики и вычислительной
техники Ивановского филиала Российского государственного торгового
университета;
      доктор технических наук Н.А. Коробов (Ивановская государственная
текстильная академия)




                                                 © Ивановский государственный
                                                 химико-технологический
ISBN                                             университет, 2006




                                          2