Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 5 стр.

UptoLike

Составители: 

5
методом, с применением рабочих фотошаблонов на диазопленке......................138
Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства слоев ПП позитивным
способом.....................................................................................................................138
Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства внутренних слоев ПП
методом ПАФОС........................................................................................................139
Приложение 4. Изучаемые ИМС. Описание, электрические схемы .................139
Описание изучаемых ИМС .......................................................................................139
Варианты элементов ПИМС для изучения топологии...........................................140
Принципиальные электрические схемы ИМС........................................................141
Список рекомендуемой литературы ........................................................................142
 методом, с применением рабочих фотошаблонов на диазопленке. ..................... 138
 Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства слоев ПП позитивным
 способом. .................................................................................................................... 138
 Типы фотошаблонов, изготавливаемые для производства внутренних слоев ПП
 методом ПАФОС........................................................................................................ 139
Приложение 4. Изучаемые ИМС. Описание, электрические схемы .................139
 Описание изучаемых ИМС ....................................................................................... 139
 Варианты элементов ПИМС для изучения топологии........................................... 140
 Принципиальные электрические схемы ИМС ........................................................ 141
Список рекомендуемой литературы ........................................................................142




                                                                5