ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
187
В помещениях первого класса чистоты выполняют наиболее ответственные
операции: финишную очистку и отмывку пластин, фотолитографию, эпитакси-
альное наращивание, диффузию примесей, вакуумное напыление.
Производственные помещения должны удовлетворять определенным тре-
бованиям с точки зрения их расположения, внутренней отделки, герметично-
сти, правил поведение и форм одежды персонала. Чистота окружающей среды
проще и дешевле обеспечивается
в ограниченном объеме, необходимом для
выполнения той или иной операции.
Поэтому ряд операций фотолитографии и сборки осуществляют в изолиро-
ванных от окружающей среды устройствах – скафандрах, с помощью резино-
вых перчаток, герметично вмонтированных в скафандр.
В скафандр подается специально очищенный воздух под небольшим избы-
точным давлением для уменьшения вероятности проникновения пыли
извне в
рабочий объем.
Соединяя ряд скафандров герметичными каналами для передачи обрабаты-
ваемых изделий, создают технологические поточные линии (например, линии
фотолитографии).
Соответствующие требования предъявляются также к технологической та-
ре для хранения и транспортировки полуфабрикатов.
Для повышения точности, стабильности и воспроизводимости технологи-
ческих операций обработки и контроля большое значение имеет микроклимат
производственных
помещений.
По температурно-влажностным параметрам производственные помещения
делятся на три класса (см. табл. 20.5).
Таблица 20.5.
Температура,
о
С Класс помеще-
ний
Зимой Летом
Относительная
влажность, %
1 21±1 23±1 45±5
2 20±2 21±2 45±5
3 По санитарным нормам (СН 245-71)
Все перечисленные мероприятия, называемые вакуумной гигиеной, на-
правлены на повышение технологической и эксплуатационной надежности
микросхем.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 185
- 186
- 187
- 188
- 189
- …
- следующая ›
- последняя »
