ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
189
Главные проблемы при создании такого оборудования – это организация
целенаправленного воздействия на полупроводниковые материалы, что связано
с получением необходимых свойств изделий, и создание условий для выполне-
ния этих операций путем формирования рабочего объема с жестко контроли-
руемыми свойствами среды.
К характеристикам рабочего объема, в котором выполняются технологиче-
ские операции, относятся:
- состав
среды, определяемый парциальным давлением паров веществ;
- давление в рабочем объеме;
- интенсивность и градиент электромагнитного поля;
- чистота среды, т.е. отсутствие в ней посторонних частиц, атомов, ионов и
т. д.
технологические операции в микроэлектронике характеризуются высокой
точностью, должны обеспечивать изменение свойств материалов в локальных
областях малых размеров и
исключать побочные явления, которые могут воз-
никать в процессе обработки.
Для формирования необходимых свойств ИМС используются:
- механическая обработка;
- химические реакции;
- воздействие сфокусированными пучками вещества – электронная и ион-
ная обработка;
- воздействие электромагнитным полем– низкотемпературная плазменная.
Комплекс оборудования для производства ИМС представляет собой пол-
ный набор технологических установок, измерительной
аппаратуры и средств
управления.
Так, поточная линия производственной системы диффузии включает:
- три (трехтрубные) диффузионные печи, оснащенные загрузчиками;
- газораспределительную систему;
- транспортную систему, позволяющую адресовать кассеты с пластинами в
любой реактор;
- центральный пульт управления линией;
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 187
- 188
- 189
- 190
- 191
- …
- следующая ›
- последняя »
