ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
190
- промышленные роботы, обеспечивающие перегрузку кассет из накопите-
ля в транспортную кассету и обратно.
Поточная линия комплектуется в виде чистого коридора, где в качестве
главного ТО используются физико-термические установки, установки ионной
имплантации, оборудование для эпитаксии.
Как правило формирование объема с необходимым типом проводимости
осуществляется с помощью термической диффузии, иногда ионной
импланта-
ции. Эти операции должны обеспечивать строгое соблюдение количества и
распределения примесей в материале подложки.
Поскольку объективный контроль процесса внедрения примеси невозмо-
жен, особое внимание при разработке ТО и систем управления (СУ) уделяется
обеспечению оптимальных технологических режимов. При этом выборочный
контроль результатов процесса позволяет определять его эффективность путем
оценки выхода
годных результатов на операции.
Существуют многочисленные методы термической диффузии: метод «за-
паянной ампулы»; диффузия в вакууме; метод «открытой трубы».
Общим для всех методов является:
- создание источника примеси на полупроводнике или вблизи его поверх-
ности;
- нагрев полупроводника до температур, обеспечивающих приемлемую для
производства скорость диффузии;
- прекращение процесса по достижении
расчетной глубины границы леги-
рованной области.
При изготовлении биполярных и металл-диэлектрик-полупроводник
(МДП)-схем наибольшее распространение получил метод «открытой трубы».
Диффузия при этом выполняется в две стадии.
На первой – «загонке» – диффузант переносится инертным газом к пласти-
нам и насыщает через открытые окна (в SiO
2
) поверхностный слой. Концентра-
ция примесей обычно определяется предельной растворимостью примеси (бора
или фосфора) в кремнии.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 188
- 189
- 190
- 191
- 192
- …
- следующая ›
- последняя »
