ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
192
печи, для чего термопары торцевых зон включаются по дифференциальной
схеме с термопарами размещенными в средней зоне. Лодочка с пластинами по-
мещается в печь устройством загрузки (7), которое обеспечивает перемещение
её по программе и возвратно-поступательное движение в технологическом
процессе и при загрузке-выгрузке. Перемещение служит для предотвращения
спекания лодочки с кварцевым реактором
.
В газовую систему входят независимые каналы подачи кислорода (8),
диффузанта (9) и нейтрального газа (10). Для защиты пластин перед загрузкой в
печь имеется система пылезащиты (11), а для эвакуации продуктов реакции –
вытяжка (12).
Для управления режимами используется ЭВМ (13), а для обмена информа-
цией с оператором – дисплей (14).
Сложность задач управления процессом диффузии обусловлена необходи-
мостью поддержания
температуры с высокой точностью ± 0,25÷0,5 ºС, высоким
уровнем температур и требованиями к постоянству состава смеси «газ-носитель
– диффузант». В газовом потоке недопустимы посторонние примеси, поэтому к
конструктивным материалам предъявляются особые требования.
Поскольку при термической диффузии можно контролировать только усло-
вия выполнения процесса, а качество выполнения операции объективно не из-
меряется, то
стабильность условий, в которых идет диффузия, должна быть
очень высокой.
Метод ионной имплантации обеспечивает непосредственное внедрение
атомов примеси в кристаллическую решетку в месте падения луча, содержаще-
го ионы диффузанта. Это позволяет строить ТП без многократного окисления,
т.е. уменьшает число операций, проводимых при высокой температуре. Дози-
рование энергии частиц в луче позволяет получать области субмикронных раз-
меров с заданной проводимостью. Границы
областей определяются в этом слу-
чае соударениями ионов луча с атомами кристаллической решетки и формой
луча. Недостатком метода являются радиационные повреждения решетки. Для
уменьшения этого эффекта необходимо строгое соблюдение дозировки энергии
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 190
- 191
- 192
- 193
- 194
- …
- следующая ›
- последняя »
