ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
56
Для повышения разрешающей способности необходимо использовать более ко-
ротковолновое излучение. В настоящее время используют источники ультра-
фиолетового излучения с λ = 193 нм, что
позволяет получать элементы с раз-
мерами около 90 нм. Это, в свою очередь, привело к необходимости изготавли-
вать фотошаблоны не на обычном стекле, а на кварцевом, что резко повысило
стоимость фотошаблонов и всего технологического процесса в целом. Альтер-
нативой этому является использование вместо ультрафиолета рентгеновского
излучения (рентгенолитография), электронных лучей (электронолитография)
или пучков ионов (ионно-лучевая литография).
В принципе рентгенолитографии ничем не отличается
от
фотолитографии. Резистивный слой облучают через специальный шаблон
мягким рентгеновским излучением с длиной волны около 1 нм. После экспони-
рования производят обычные операции: проявление, сушку, задубливание и так
далее. Однако использование рентгеновского излучения создает ряд проблем,
отсутствующих в фотолитографии.
Во-первых, для рентгеновского диапазона не существует линз или зеркал,
которые позволили бы сформировать пучок параллельных лучей. Следователь-
но, источник рентгеновских лучей должен находиться на максимальном рас-
стоянии от фотошаблона с тем, чтобы расходимость пучка была как можно
меньше. Минимальные размеры элементов ∆ можно в этом случае оценить по
формуле
где s – величина зазора между шаблоном и подложкой с резистом; d – диаметр
источника излучения; D – расстояние от источника до шаблона. Однако увели-
чение D имеет и негативную сторону, а именно, значительно снижается плот-
ность потока излучения, падающего на резистивный слой, и
увеличивается
время его экспонирования.
Во-вторых, обычные фотошаблоны на стеклянной основе не могут быть
использованы, поскольку рентгеновские лучи в них будут практически полно-
стью поглощаться. Уменьшить толщину до уровня несколько десятков микро-
метров невозможно из-за недостаточной механической прочности. Рассмотрим
возможные решения этих проблем подробнее.
Рентгеновское излучение очень широко используется в науке и технике.
Обычно в качестве источников рентгеновских лучей используют специальные
рентгеновские трубки (рис. 3.15 а), принцип действия которых заключается
в следующем. Электроны, испускаемые катодом К, ускоряются электрическим
полем и бомбардируют анод А. В результате торможения возникает электро-
магнитное излучение рентгеновского диапазона (тормозное рентгеновское из-
лучение), имеющее непрерывный спектр. Если энергия электронов достаточна
для того, чтобы выбить электроны из внутренних оболочек атомов материала
анода, то вместе с тормозным излучением испускается так называемое характе-
ристическое излучение, имеющее дискретный спектр.
,
D
d
s∆ =
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 54
- 55
- 56
- 57
- 58
- …
- следующая ›
- последняя »
