Физико-химические основы технологии электронных средств. Смирнов В.И. - 57 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

57
Получение рентгеновских лучей путем электронной бомбардировки ано-
да – малоэффективный процесс, так как большая часть энергии электронов идет
на нагревание анода (поэтому трубки имеют водяное охлаждение). Лишь не-
значительная часть всей энергии, подводимой к трубке от источника питания,
испускается в виде рентгеновских квантов. При этом испускание квантов осу-
ществляется в пределах телесного угла
2π. Именно поэтому удаление подложки
от рентгеновской трубки резко снижает плотность потока, падающего на рези-
стивный слой.
Значительно более эффективно использование для рентгенолитографии
синхротронного излучения (рис.
3.15 б), которое генерируется в специальных
накопительных кольцах релятивистскими электронами, движущимися
под
воздействием магнитного поля по окружности. Известно, что движущиеся
с
ускорением заряженные частицы испускают электромагнитные кванты, энер-
гия которых тем выше, чем больше ускорение. Ускорение электрона, движуще-
гося по окружности, определяется его скоростью и радиусом траектории R. Так
например, при энергии электронов 3,5
ГэВ и радиусе траектории около 13
м
полная мощность излучения составляет величину свыше 100
кВт, что в десятки
и сотни тысяч раз превышает аналогичный показатель для обычных рентгенов-
ских трубок.
Отличительной особенностью синхротронного излучения является также
малая расходимость пучка, составляющая величину несколько миллирадиан.
Малая расходимость пучка и высокая плотность потока в пучке дают возмож-
ность размещать подложку на расстоянии в несколько метров от
источника и,
тем самым, формировать практически параллельный пучок рентгеновских
квантов.
Другой проблемой рентгенолитографии является проблема изготовления
шаблонов, которые обеспечивают необходимую контрастность изображения
топологического рисунка на резистивном слое. Это означает, что шаблон дол-
Рис.
3.15.
Формирование рентгеновского излучения
с помощью рентгеновской трубки (а) и синхротрона (б)

Страницы