Физико-химические основы технологии электронных средств. Смирнов В.И. - 70 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

70
но
-
химическом
травлении
играют
нейтральные
химически
активные
частицы
,
физическое
распыление
материала
ионами
играет
второстепенную
роль
.
При
этом
эффекты
физического
распыления
и
химического
взаимодействия
не
ад
-
дитивны
:
физическое
распыление
активизирует
химические
реакции
,
а
химиче
-
ские
реакции
,
ослабляя
связи
поверхностных
атомов
,
способствуют
физическо
-
му
распылению
.
Метод
ионно
-
химического
травления
отличается
высокой
анизотропией
,
что
позволяет
обеспечивать
высокое
разрешение
при
осуществлении
фотолито
-
графии
,
и
удовлетворительной
селективностью
,
существенно
превышающей
аналогичный
показатель
для
чисто
ионного
травления
.
В
заключение
проведем
сравнительный
анализ
основных
характеристик
жидкостных
и
ионно
-
плазменных
методов
травления
.
Сравнивать
будем
по
скорости
травления
,
анизотропии
(
отношение
скоростей
травления
по
нормали
к
поверхности
и
в
тангенциальном
направлении
),
а
также
селективности
трав
-
ления
(
отношение
скоростей
травления
данного
материала
и
материала
фото
-
маски
).
Значения
указанных
характеристик
приведены
в
таблице
3.1.
Таблица
3.1
Характеристики
различных
методов
травления
Метод травления V
тр
,нм/с Анизотропия Селективность
Жидкостное
травление
~ 1 10…100
Ионное травление
0,1…1 ~ 100 1…10
Плазмохимическое
травление
2…10 2…5 10…50
Ионно-химическое
травление
0,3…3 20…100 5…20
В
таблице
не
представлены
значения
скорости
жидкостного
травления
,
поскольку
они
могут
изменяться
в
очень
широком
интервале
в
зависимости
от
используемого
травителя
,
материала
объекта
травления
,
технологических
ре
-
жимов
и
так
далее
.
Из
таблицы
3.1
видно
,
что
жидкостное
травление
обладает
минимальными
свойствами
анизотропии
,
то
есть
материал
травится
примерно
с
одинаковой
скоростью
во
всех
направлениях
(
если
не
учитывать
зависимость
скорости
травления
от
кристаллографического
направления
).
Максимальная
анизотропия
(
а
значит
,
и
максимально
возможная
разрешающая
способность
)
присуща
ионному
травлению
,
однако
оно
обладает
слабой
избирательностью
(
селективностью
).
По
совокупности
свойств
наиболее
предпочтительными
яв
-
ляются
методы
плазмохимического
и
ионно
-
химического
травления
.
Контрольные вопросы
1. Что такое гомоэпитаксия, гетероэпитаксия и хемоэпитаксия?
2.
Какие задачи решает эпитаксия?
3. В чем суть методов парофазной, жидкофазной и твердофазной эпитаксии?

Страницы