Физико-химические основы технологии электронных средств. Смирнов В.И. - 71 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

71
4.
В чем суть метода газофазной эпитаксии кремния?
5. Как формируются эпитаксиальные слои кремния хлоридным и силановым методом?
6. В чем суть молекулярно-лучевой эпитаксии?
7. Что такое структура КНС? Как она формируется и в чем ее отличительные особенности?
8. В чем суть метода термического окисления кремния?
9. Объясните модель Дила-Гроува.
10. Как влияют на скорость роста слоя SiO
2
температура и давление газа-окислителя, кри-
сталлографическая ориентация кремниевой пластины и концентрация примесей?
11. В чем суть метода химического осаждения оксида кремния?
12. Как получают пленки из нитрида кремния и оксида алюминия?
13. Что такое диффузия по вакансиям и по междоузлиям? В каком случае скорость диффузии
выше и почему?
14. Объясните модель, описывающую процесс диффузии примесных атомов в кристалле.
15. Объясните основные закономерности процессов диффузии.
16. Что такое диффузия из ограниченного и неограниченного источников?
17. Как рассчитать глубину залегания р-п-перехода при известных режимах технологическо-
го процесса?
18. Какие технологические факторы оказывают влияние на скорость диффузии примесей и в
чем проявляется это влияние?
19. В чем суть метода ионной имплантации примесей?
20. Сформулируйте основные положения теории Линдхарда-Шарфа-Шиотта.
21. Что такое эффект каналирования и как он влияет на профиль распределения имплантиро-
ванных примесей в подложке?
22. В чем суть метода ядерного легирования кремния?
23. Объясните физику явлений в кремниевых структурах, происходящих под воздействием
лазерного излучения.
24. Объясните физику явлений в кремниевых структурах, стимулированных образованием в
них радиационных дефектов.
25. Что такое фотолитография, какие операции она в себя включает и для решения каких за-
дач используется?
26. Что такое позитивный и негативный фоторезисты? В чем причина их различной реакции
на воздействие ультрафиолетового излучения?
27. Объясните суть методов рентгенолитографии, электронолитографии и ионно-лучевой ли-
тографии.
28. Что такое голографическая литография и для решения каких задач она применяется?
29. В чем суть жидкостных методов травления?
30. Что такое ионное, плазмохимическое и ионно-химическое травление?

Страницы