ВУЗ:
Составители:
2
УДК 535.33 (075)
ББК 32.965 я 7
С 50
Рецензенты:
Ульяновский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (директор,
д-р техн. наук В. А. Сергеев);
канд. техн. наук, доцент кафедры «Авиационная техника» УВАУГА
А. В. Ефимов
Утверждено редакционно-издательским советом университета
в качестве учебного пособия
Смирнов, В. И.
Неразрушающие методы контроля параметров полупро-
водниковых материалов и структур : учебное пособие /
В. И. Смирнов. Ульяновск : УлГТУ, 2012. 75 с.
ISBN 978-5-9795-0942-6
Рассмотрены методы измерения, используемые для контроля техно-
логических операций при производстве полупроводниковых приборов и
интегральных микросхем. Основное внимание уделено методам измерения
химического состава и кристаллографической структуры полупроводников,
а также различным методам исследования морфологии поверхности с ис-
пользованием средств оптической, рентгеновской и электронной микроскопии.
Пособие предназначено для магистров, обучающихся по направле-
нию 21100068 «Конструирование и технология электронных средств» и про-
филю подготовки - Элементы и устройства электронно-вычислительных
средств, изучающих вопросы технологии электронных средств.
Печатается в авторской редакции.
УДК 535.33
(075)
ББК 32.965 я 7
Смирнов В. И., 2012
ISBN 978-5-9795- 0942-6 Оформление. УлГТУ, 2012
С 50
