ВУЗ:
Составители:
3
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ ……………………………………………...……….................... 4
1. ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ………….……. 6
1.1. Оптическая микроскопия…………….…………….………................ 6
1.2. Оптическая микроскопия в режиме интерференционного
контраста ………………………………………………………….…...
7
1.3. Оптическая эллипсометрия ……….………………………..…….….. 10
2. РЕНТГЕНОВСКИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА …………………….…….….. 14
2.1. Рентгеновская теневая микроскопия ……………………………….. 14
2.2. Рентгеновская томография …………………………………............... 15
2.3. Рентгеноструктурный анализ ……………………………….............. 17
2.4. Рентгеновская топография …………………………………………... 21
3. ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ …….…….. 23
3.1. Просвечивающая электронная микроскопия ………………............... 23
3.2. Растровая электронная микроскопия …………………..…………… 26
3.3. Сканирующая
зондовая микроскопия нанометрового
разрешения………………………………………….…………………
34
3.3.1. Сканирующая туннельная микроскопия ……………………… 34
3.3.2. Атомно-силовая микроскопия…………………………..….…... 36
4. МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА
МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР………………………………………...…..
40
4.1. Электронная Оже-спектроскопия …………………………………… 40
4.2. Фотоэлектронная спектроскопия для химического анализа............. 43
4.3. Вторичная ионная масс-спектроскопия …………………………...... 45
4.4. Спектроскопия обратного рассеяния Резерфорда ……………...….. 48
4.5. Нейтронно-активационный анализ………………………………..… 49
5. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ……….….. 52
5.1. Методы измерения
удельного сопротивления полупровод-
ников………………………………………………………………...…
52
5.1.1. Четырехзондовый метод ………………………………..……… 52
5.1.2. Метод Ван-дер-Пау ……………………………….…………..… 54
5.1.3. Метод сопротивления растекания точечного контакта………. 55
5.2. Измерение концентрации и подвижности носителей заряда
в полупроводниках методом эффекта Холла …………………….…
58
5.3. Вольт-фарадные методы измерения параметров полупровод-
ников …………………………………………………………..……....
61
5.4. Методы измерения теплового сопротивления полупровод-
никовых приборов ……………………………………………….……
67
ЗАКЛЮЧЕНИЕ……………………………………………………………….. 74
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК……………………...……………..…. 75
