Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 51 стр.

UptoLike

Составители: 

51
Контрольные вопросы
1.
Что такое качественный и количественный химический анализ?
2.
В чем суть электронной Оже-спектроскопии и какие задачи можно
решить с помощью этого метода?
3.
В чем преимущество метода электронной Оже-спектроскопии перед
методом рентгеновского микроанализа?
4.
В чем суть метода вторичной ионной масс-спектроскопии?
5.
Какие бывают механизмы испускания вторичных ионов?
6.
Какие разрешение и порог чувствительности имеет ВИМС?
7.
В чем суть метода обратного рассеяния Резерфорда?
8.
В чем суть нейтронно-активационного анализа и какой у него порог
чувствительности?