Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 18 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

18
Здесь Р
0
и произведение D
1·
t
1
следует взять из предыдущего
расчета и решить уравнение относительно
22
tD .
Подставим N
p
(x
p,
t
2
)=N
0
и прологарифмируем
ln N
0
= ln(P
0
/
)
π
– ln
22
tD – x
2
p
/4(D
1
t
1 +
D
2
t
2
)
Перегруппировав члены равенства, получим выражение
,lnln
)(4
22
0
0
2211
tD
N
P
tDtD
x
p
−=
+
π
которое является трансцендентным уравнением по
22
tD .
Представив левую часть как F
1
(
11
tD ), а правую как
F
2
(
22
tD ), на рис.1.8 графически находим точку пересечения
функций F
1
и F
2
, т. е.где F
1
=F
2
.
Можно решить это уравнение и методом последовательных
приближений. Точность расчетов должна быть до третьего
знака.
В результате
22
tD = 1,574·10
-4
. Отсюда находим для D
2
при Т
р
=1150
0
С t
2
=2,48·10
4
с=6,88ч.
Концентрация примеси на поверхности кристалла будет
равна
P
0
N
p
(0, t
2
) = ————— =3,66·10
18
см
-3
22
tD
π
Распределение примеси при разгонке
N(x
p
,t
2
) = 3,66·10
18
exp (−
412
2
1048,21077,1 ⋅⋅
−
p
x
).
Результаты расчета приведены в табл. 1.5.

Страницы