Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 19 стр.

UptoLike

19
Таблица 1.5
t
р
, мкс 0 0,85 1, 7 2, 55 3, 4
N, см
-3
3,66·10
18
3,4·10
18
2,7·10
18
1,9·10
18
1,14·10
18
t
p,
мкс 4,25 5,1 5,95 6,8 7,65
N, см
-3
5,9·10
17
2,10·10
17
1,03·10
17
3,45·10
16
9,98·10
15
t
p,
мкс 8,5
N, см
-3
2,5·10
15
N(x,t)
N
1
0,8
0,6
0,4
0,2
0
2 4 6 8 10 х, мкм
S
T=0
\/Dt=1
2
5
мкм
Рис. 1. 7
График распределения примеси приведен на рис. 1. 9