ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
2
УДК621.396.6(076.5)
Светличный А.М., Наумченко А.С. Руководство к ла-
бораторным работам по курсу «Технология радиоэлектронных
средств», Ч.1. Таганрог:Изда-во ТРТУ, 2004. 57 с.
Руководство содержит описание двух лабораторных работ
по технологии термической диффузии в полупроводники. В
описании к первой лабораторной работе приводится методика и
результаты расчетов параметров легированных слов, получен-
ных двух этапной диффузией.
Во второй лабораторной работе рассматривается техно-
логическое оборудование для проведения термической диф-
фузии в кремний, методы проведения диффузии и приводятся
методы измерения параметров легированных слоев.
Руководство может использоваться студентами при изу-
чении курсов Технология РЭС, Технология ЭВС, Технология
микросхем, Технология микросистем, Процессы микро-и нано-
технологии, Материалы и методы нанотехнологии.
Табл. 9 . Ил. 21. Библиогр.: 6 назв.
Рецензент Е.Т.Замков,канд.техн.наук, доцент кафедры
конструирования радиоэлектронных средств ТРТУ
