Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 22 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

22
10.Какова математическая модель диффузии из конечного
источника примеси?
11. Методика расчета режимов двухэтапной диффузии.
12.Чем отличаются распределения концентраций по глубине
при диффузии из конечного и бесконечного источников?
13. Нарисовать распределение примеси при загонке при
Т
1
<T
2
<T
3
и t = const.
14. Нарисовать распределение примеси при разгонке при
t
1
<t
2
<t
3
и T=const.
15. Механизмы диффузии.
БИБЛИОГАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
(к разделу № 1)
1.Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем,
микропроцесссоров и микросборок. М.: Радио и связь, 1989.
400с.
2.Черняев В. М. Технология производства интегральных
микросхем и микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987. 464с.
3.Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.:Высшая школа,
1986. 320с.
4.Березин А.С., Мочалкина О.Р. Технология и конструи-
рование
интегральных микросхем. М.:Радио и связь, 1983. 232с.
5.ЗИ.С. Технология СБИС в 2-х книгах. М.: Мир, 1986. 858с.
6.Новиков В. В. Теоретические основы микроэлектроники.
М.: Высшая школа, 1972. 352с.

Страницы