Технология радиоэлектронных средств. Ч.1. Светличный А.М - 23 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

23
Таблица 1.6
Формирование
р-кармана КМОП ИМС
Формирование сток-ис-
токов n-канальных тран-
зисторов КМОП ИМС
N
0
Загонка
бора
Разгонка
бора
Загонка
фосфора
Разгонка
Фосфора
Но
ме-
ра
ва-
ри-
ан-
тов
·10
15
cм
-3
Т,
0
С х
3,
мкм
Тз,
0
С х
р
,
мкм
Т
з
,
0
С х
3,
мкм Т
р
,
0
С х
р,
мкм
1 1,1 1100 0,15 1180 5,6 1050 0,10 1150 0,9
2 1,3 1120 0,18 1160 5,2 1060 0,12 1140 0,8
3 2,1 1160 0,20 1190 7,4 1080 0,15 1170 1,0
4 1,5 1110 0,16 1160 5, 4 1090 0,16 1160 1,1
5 2,0 1130 0,22 1170 8,2 1040 0,17 1180 1, 2
6 1,8 1090 0,16 1000 8,4 1050 0,18 1150 1,4
7 2,4 1040 0,15 1150 4,6 1040 0,20 1170 1,3
8 3,2 1080 0,14 1160 5,2 1060 0,21 1160 1,1
9 1,6 1110 0,22 1170 6,4 1050 0,18 1180 0,9
10 2,2 1150 0,24 1180 7,4 1070 0,17 1150 0,8
11 3,4 1140 0,16 2000 8,1 1080 0,19 1160 1,2
12 4,0 1080 0,18 1190 7,5 1100 0,16 1170 1,4
13 3,8 1070 0,20 1180 7,2 1090 0,14 1180 0, 9
14 4,8 1050 0,22 1170 6,8 1060 0,12 1170 1,0
15 3,6 1100 0,26 1180 7,4 1070 0,15 1150 1,2
16 4,2 1110 0,20 1160 6,4 1080 0,14 1160 0,9
17 5,2 1120 0,18 1150 5,4 1060 0,19 1170 0,9
18 4,8 1140 0,21 1180 6,7 1040 0,12 1160 1,2
19 4,6 1050 0,19 1190 7,5 1080 0,16 1170 1,4
20 5,0 1080 0,24 1170 7,2 1070 0,18 1150 1,0

Страницы