Фотолитографический метод создания тонкопленочных ВТСП структур. Сычев С.А - 14 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ОмГУ | Омск

Составители: 

Рубрика: 

27
Учебно-практическое издание
Составители
С.А. Сычев, Г.М. Серопян, И.С. Позыгун, В.В. Семочкин
ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ МЕТОД СОЗДАНИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ВТСП СТРУКТУР
Лабораторный практикум
(для студентов физического факультета)
специальность 010400 «Физика»
Технический редактор М.В. Быкова
Редактор Л.Ф. Платоненко
Подписано в печать 21.05.04. Формат бумаги 60х84 1/16.
Печ. л. 1,7. Уч.-изд. л. 1,5. Тираж 50 экз. Заказ 314.
Издательско-полиграфический отдел ОмГУ
644077, г. Омск-77, пр. Мира, 55а, госуниверситет
28
                        Учебно-практическое издание




                               Составители
           С.А. Сычев, Г.М. Серопян, И.С. Позыгун, В.В. Семочкин




            ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ МЕТОД СОЗДАНИЯ
                  ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ВТСП СТРУКТУР
                            Лабораторный практикум
                     (для студентов физического факультета)
                         специальность 010400 «Физика»




                       Технический редактор М.В. Быкова

                           Редактор Л.Ф. Платоненко


          Подписано в печать 21.05.04. Формат бумаги 60х84 1/16.
            Печ. л. 1,7. Уч.-изд. л. 1,5. Тираж 50 экз. Заказ 314.

Издательско-полиграфический отдел ОмГУ
644077, г. Омск-77, пр. Мира, 55а, госуниверситет

                                       27                            28

Страницы