Получение тонких пленок сложного состава методом испарения и конденсации в вакууме. Юраков Ю.А. - 11 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 1. Испарение с элемента испарителя малой площади dAe

на элемент поверхности подложки dAr

Большинство металлов и соединений имеют малые давления паров

при обычных температурах подложки (T

). Следовательно, величина P

во

много раз больше равновесного давления паров P(T

). Если учесть также,

что в случае сильного пересыщения пара относительно температуры под-

ложки обычно коэффициент конденсации α

= 1, то состав пленки можно

определять давлением паров компонентов P

. Таким образом можно кон-

тролировать состав пленки по изменению плотности частиц в потоке пара.

Автоматизированные системы позволяют контролировать состав пленок с

точностью до 1–2 %, что очень важно при получении пленок сплавов и

многофазных материалов.

Состав пленок химических соединений в меньшей степени зависит

от точности контроля потока пара по сравнению со случаем сплавов и

многофазных пленок. Причина этого состоит в том, что скорость конден-

сации зависит не только от отношения давления паров составляющих, но и

от поверхностной реакции. Испарение из двух источников аналогично ре-

активному испарению, где рост пленки определяется температурой под-

ложки. Гюнтером был предложен экспериментальный метод трех темпера-

тур. В данном случае имеются в виду температуры двух источников и под-

ложки. В этом методе используется тот факт, что свободная энергия, необ-

ходимая для диссоциации соединения в соответствии с уравнением

AB(

т)=A(г)+B(г)

, (14)