ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
15
Рис. 3. Устройство для испарения методом вспышки с дисковой подачей
порошкового испаряемого вещества
Этот метод применим для получения пленок сплавов, смесей и со-
единений. В большинстве случаев попадающие на подложку пары пере-
сыщены, и состав пленок не зависит от коэффициента конденсации α
с
. Ис-
паряемое вещество используют, как правило, в виде порошка, хотя и суще-
ствуют устройства, для испарения вещества в виде проволоки. Для подачи
порошка в испаритель используют различные устройства (рис. 3). В этих
системах в качестве испарителей используют такие материалы как вольф-
рам или тантал, которые нагревают джоулевым теплом или электронной
бомбардировкой. Испаритель должен работать при температурах до 2000 °С
и при этом не взаимодействовать с испаряемым веществом.
При испарении вещества с плоского (ленточного) испарителя общей
проблемой является неполное испарение вследствие разбрасывания час-
тиц. Это происходит потому, что испаряемое вещество обычно не обезга-
живается перед загрузкой в испаритель и, кроме того, возможно отклоне-
ние вещества восходящим потоком паров. Частицы малых размеров в этом
случае отклоняются в первую очередь. Для борьбы с этим используют ка-
либрованные порошки с отсевом мелких фракций, а также снабжают испа-
рители конусом-отражателем. К недостаткам метода вспышки относится
сравнительно невысокий вакуум в процессе испарения. Это обусловлено
высоким содержанием газов в испаряемом веществе и значительным газо-
отделением с большой поверхности испарителя.
