Получение тонких пленок сложного состава методом испарения и конденсации в вакууме. Юраков Ю.А. - 14 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

14
жек, если это связано с удалением летучих окислов и примесей, а также
адсорбированных молекул. Технологию распыления низкоэнергетически-
ми ионами инертных газов применяют и для анализа распределения эле-
ментов по глубине в пленке методом ОЭС.
Установка молекулярно-лучевой эпитаксии может быть выполнена в
виде нескольких отдельных сверхвысоковакуумных модулей, имеющих
свои средства получения и поддержания вакуума. Каждый из них имеет
определенное назначение, например, модуль эпитаксии, модуль подготов-
ки и анализа структур, модуль загрузки и т. д. Эти модули связаны между
собой вакуумными шлюзами и т. о. обеспечивается перемещение объектов
исследования между отдельными модулями без нарушения вакуума и экс-
позиции на воздухе.
Испарение материалов чаще всего осуществляется с помощью эффу-
зионных ячеек (эффузия – медленное истечение газа через малые отвер-
стия). Эффузионная ячейка представляет собой цилиндрический стакан из
тугоплавких материалов, например, графита или нитрида бора. Поверх
стакана располагается нагревательная спираль из тантала и тепловой эк-
ран, изготовленный из танталовой фольги. Температура испаряемого ве-
щества в эффузионной ячейке контролируется термопарой. В одной росто-
вой камере обычно расположено несколько испарителей, в каждом из ко-
торых находятся отдельные компоненты пленок или легирующие примеси.
Для получения пленок тугоплавких материалов применяются специальные
источники, в которых вещества нагреваются электронной бомбардировкой
или распыляются ионной бомбардировкой.
Испарение методом вспышки (дискретное испарение)
Этот метод используется для получения пленок, компоненты кото-
рых имеют различное давление паров. В отличие от метода двух испарите-
лей здесь не требуется контроль плотности паров и температуры испарите-
лей. Контроль состава пленки достигается за счет полного испарения ма-
лых количеств составляющих в заданном соотношении. При этом исполь-
зуется один испаритель, температура которого достаточно высока, чтобы
происходило испарение наименее летучего компонента. Во время испаре-
ния каждой порции происходит фракционирование вещества, но количест-
во вещества в каждой порции мало настолько, что эта неоднородность мо-
жет проявляться лишь в пределах нескольких моноатомных слоев. Неод-
нородность уменьшается за счет непрерывной подачи вещества. В резуль-
тате множества последовательных испарений поток пара приобретает од-
нородный состав, совпадающий с составом испаряемого вещества.

Страницы