Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 84 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

84
- плазменного реактора (вакуумной камеры),
- систем откачки и газонапуска (предельный вакуум ≤ 0,06 Тор,
рабочее давление – 0,5-0,8 Тор)
Для создания вакуума к плазменному модулю СВЧ присое-
диняют форвакуумный насос НВПР-16, снабжённый ловушкой.
Рассмотрим основные составные части плазменного модуля.
СВЧ печь
Важнейшим элементом СВЧ печи является магнетрон, кото-
рый представляет собой устройство, генерирующее электромаг-
нитное излучение.
Рис. 31. Плазменный модуль СВЧ (вид спереди)
Состав плазменного модуля СВЧ:
1 – плазменный реактор;
2 – отверстие, соединенное с линией газонапуска;
3 – отверстие, соединенное с линией откачки;
4 – съёмная крышка;
5 – колба с водой;
6 – подставка под плазменный реактор.
При большой напряженности электромагнитного(э/м) поля
происходит лавинообразный пробой газа в вакуумной камере и 
                              84

 - плазменного реактора (вакуумной камеры),
 - систем откачки и газонапуска (предельный вакуум ≤ 0,06 Тор,
рабочее давление – 0,5-0,8 Тор)
      Для создания вакуума к плазменному модулю СВЧ присое-
диняют форвакуумный насос НВПР-16, снабжённый ловушкой.
      Рассмотрим основные составные части плазменного модуля.
                           СВЧ печь
    Важнейшим элементом СВЧ печи является магнетрон, кото-
рый представляет собой устройство, генерирующее электромаг-
нитное излучение.




        Рис. 31. Плазменный модуль СВЧ (вид спереди)

Состав плазменного модуля СВЧ:
1 – плазменный реактор;
2 – отверстие, соединенное с линией газонапуска;
3 – отверстие, соединенное с линией откачки;
4 – съёмная крышка;
5 – колба с водой;
6 – подставка под плазменный реактор.

    При большой напряженности электромагнитного(э/м) поля
происходит лавинообразный пробой газа в вакуумной камере и

Страницы