Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 86 стр.

                             86




      Рис. 33. Изображение панели управления СВЧ печи
     Проводить обработку образцов при больших значениях
мощности (интенсивные режимы обработки) не рекомендует-
ся, т.к. из-за быстрого неравномерного разогрева вакуумной
камеры, она может треснуть.
          Плазменный реактор (вакуумная камера)
     Представляет собой часть кварцевой трубы, размерами
Ø120·150 мм, снабжённую с обеих сторон фторопластовыми
заглушками. В задней заглушке имеются 2 отверстия, которые
соединены с линиями откачки и напуска газа. Передняя за-
глушка выполнена в виде съёмной крышки, которая при откач-
ке газа из плазменного реактора удерживается за счёт вакуума.
Материалы, из которых сделана вакуумная камера, не погло-
щают э/м излучения, а, следовательно, практически всё СВЧ из-
лучение идёт на образование плазмы.
                         Оснастка
    Её внешний вид представлен на рисунке 34.