Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 87 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

87
Она предназначена для установки образцов. Стенки оснаст-
ки соединены 4 направляющими цилиндрической формы. В зави-
симости от размеров и формы образцов возможна регулировка
расстояний между направляющими.
Рис. 34. Изображение оснастки.
Материал оснастки – фторопласт. Причина его выбора со-
стоим в том, что он не поглощает э/м излучение.
Внимание: контакт образцов со стенками плазменного реак-
тора может привести к его растрескиванию.
Линия газонапуска
Рис. 35. Плазменный модуль СВЧ (вид сзади).
Составные части лини газонапуска:
1 - линия откачки,
2 – линия напуска рабочего газа,
3 - вентиль откачки ("Откачка"),
4 – термопарная лампа, 
                             87

     Она предназначена для установки образцов. Стенки оснаст-
ки соединены 4 направляющими цилиндрической формы. В зави-
симости от размеров и формы образцов возможна регулировка
расстояний между направляющими.




               Рис. 34. Изображение оснастки.
     Материал оснастки – фторопласт. Причина его выбора со-
стоим в том, что он не поглощает э/м излучение.
     Внимание: контакт образцов со стенками плазменного реак-
тора может привести к его растрескиванию.
                        Линия газонапуска




         Рис. 35. Плазменный модуль СВЧ (вид сзади).
Составные части лини газонапуска:
1 - линия откачки,
2 – линия напуска рабочего газа,
3 - вентиль откачки ("Откачка"),
4 – термопарная лампа,

Страницы