Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 88 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

88
5 – игольчатый натекатель газа (“ГАЗОНАПУСК”),
6 – вентиль разгерметизации ("Напуск").
Линия газонапуска – это резиновый шланг, соединённый с
игольчатым натекателем газа (5 на рисунке 35). Внутри игольча-
того натекателя находятся отверстие определённого диаметра и
игла с таким же диаметром, которая помещена в это отверстие.
Вращая вентиль натекателя, изменяя тем самым положение иглы
относительно отверстия, регулируют количество
газа, поступаю-
щее в вакуумную камеру. Линия газонапуска соединена с газовой
подушкой, в которой находится рабочий газ (Ar, O
2
или H
2
).
Линия откачки
Вакуумная откачка газов производится через штуцер по газовой
магистрали (рис. 34 - линия откачки), которая подсоединена с
форвакуумным насосом.
Характеристики вакуума и вакуумных насосов
Область давлений, с которыми приходится сталкиваться
экспериментаторам при плазмохимическом травлении, охватыва-
ет довольно широкий диапазон. Поэтому его можно разделить на
поддиапазоны:
Низкий вакуум Средний вакуум Высокий вакуум
Сверхвысокий ва-
куум
760-1 Тор 1-10
-3
Тор 10
-3
-10
-6
Тор 10
-6
-10
-12
Тор
Границы поддиапазонов обусловлены различием в способах
получения и измерения вакуума.
При большом различии в принципах действия и конструк-
циях, во всех вакуумных насосах для откачки газа используется
один из двух способов:
а) перемещение газа за счет приложения к нему механических
сил в некотором месте вакуумной системы, откуда газ выталки-
вается;
либо
б) связывание газа путем сорбции, химических реакций или кон-
денсации обычно в замкнутой вакуумной системе.
Вакуумные насосы разделяют на следующие группы: 
                                88

5 – игольчатый натекатель газа (“ГАЗОНАПУСК”),
6 – вентиль разгерметизации ("Напуск").
      Линия газонапуска – это резиновый шланг, соединённый с
игольчатым натекателем газа (5 на рисунке 35). Внутри игольча-
того натекателя находятся отверстие определённого диаметра и
игла с таким же диаметром, которая помещена в это отверстие.
Вращая вентиль натекателя, изменяя тем самым положение иглы
относительно отверстия, регулируют количество газа, поступаю-
щее в вакуумную камеру. Линия газонапуска соединена с газовой
подушкой, в которой находится рабочий газ (Ar, O2 или H2).
                           Линия откачки
Вакуумная откачка газов производится через штуцер по газовой
магистрали (рис. 34 - линия откачки), которая подсоединена с
форвакуумным насосом.
            Характеристики вакуума и вакуумных насосов
     Область давлений, с которыми приходится сталкиваться
экспериментаторам при плазмохимическом травлении, охватыва-
ет довольно широкий диапазон. Поэтому его можно разделить на
поддиапазоны:
                                                      Сверхвысокий ва-
Низкий вакуум      Средний вакуум    Высокий вакуум
                                                      куум
760-1 Тор          1-10-3 Тор        10-3-10-6 Тор    10-6-10-12 Тор

      Границы поддиапазонов обусловлены различием в способах
получения и измерения вакуума.
      При большом различии в принципах действия и конструк-
циях, во всех вакуумных насосах для откачки газа используется
один из двух способов:
 а) перемещение газа за счет приложения к нему механических
сил в некотором месте вакуумной системы, откуда газ выталки-
вается; либо
 б) связывание газа путем сорбции, химических реакций или кон-
денсации обычно в замкнутой вакуумной системе.
      Вакуумные насосы разделяют на следующие группы:

Страницы