Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 90 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

90
ной на рисунке 36. Он работает в масляной ванне, обеспечиваю-
щей герметизацию соединений насоса и уменьшение трения.
Рис. 36. Схема пластинчато-роторного форвакуумного насоса
Форвакуумный насос, используемый в данной работе, изо-
бражён на рис. 37.
Рис. 37. Изображение форвакуумного насоса НВПР-16
Ловушка
При работе форвакуумного насоса не исключено попадание
паров его масла в вакуумную камеру (см. выше). Для предотвра-
щения этого используются ловушки. Одними из лучших являют-
ся ловушки на основе жидкого азота, принцип действия которых
состоит в быстрой конденсации паров попадающего в них масла.
Используя ловушки, избавляются от нежелательных побочных
процессов, которые могут протекать в условиях плазмохимиче-
ской обработки (например, образование алмазоподобных плёнок
на поверхности образца). 
                             90

ной на рисунке 36. Он работает в масляной ванне, обеспечиваю-
щей герметизацию соединений насоса и уменьшение трения.




  Рис. 36. Схема пластинчато-роторного форвакуумного насоса
    Форвакуумный насос, используемый в данной работе, изо-
бражён на рис. 37.




     Рис. 37. Изображение форвакуумного насоса НВПР-16
                          Ловушка

     При работе форвакуумного насоса не исключено попадание
паров его масла в вакуумную камеру (см. выше). Для предотвра-
щения этого используются ловушки. Одними из лучших являют-
ся ловушки на основе жидкого азота, принцип действия которых
состоит в быстрой конденсации паров попадающего в них масла.
Используя ловушки, избавляются от нежелательных побочных
процессов, которые могут протекать в условиях плазмохимиче-
ской обработки (например, образование алмазоподобных плёнок
на поверхности образца).

Страницы