Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 89 стр.

                              89

1. Механические насосы объемного действия, в которых переме-
щение газа осуществляется путем периодического изменения объ-
ема рабочей камеры.
2. Эжекторные насосы, в которых происходит турбулентно вязко-
стное увлечение газа струей рабочей жидкости или пара.
3. Молекулярные насосы, которые осуществляют откачку путем
сообщения молекулам откачиваемого газа дополнительной скоро-
сти в определенном направлении. Насосы этой группы могут быть
струйными, действие которых основано на сообщении молекулам
откачиваемого газа дополнительной скорости непрерывно исте-
кающей струи пара, и механические, в которых эта скорость сооб-
щается движущимися поверхностями твердого тела.
4. Сорбционные насосы, которые осуществляют откачку газов их
сорбцией на поверхности или в объеме твердей тел. В эту группу
входят и адсорбционные насосы, в которых откачка происходит
вследствие обратимой физической адсорбции газа при низкой тем-
пературе.
5. Криогенные насосы, которые осуществляют откачку путем кон-
денсации откачиваемых газов и паров на поверхностях, охлаждае-
мых до сверхнизких температур. Разновидностями криогенных на-
сосов являются конденсационные и криосорбционные насосы.
     В данной работе использовался пластинчато-роторный фор-
вакуумный насос НВПР-16, который относится к типу механиче-
ских насосов объёмного действия. Данный насос создаёт вакуум
1 – 10-3 Тор при скорости натекания газа не более 1 см3/с.
     Принцип работы всех механических насосов объёмного
действия состоит в 3 операциях: 1) Высасывание газа за счёт
расширения рабочей камеры насоса, 2) Уменьшение объёма ра-
бочей камеры и сжатие находящегося в ней газа и 3) Удаление
сжатого газа из рабочей камеры в атмосферу.
     Пластинчато-роторный насос состоит из цилиндрического
корпуса 7 с впускным 4 и выхлопным 3 патрубками и эксцентрич-
но расположенного ротора 6, в пазах которого установлены пла-
стины 5. Под действием центробежной силы пластины прижима-
ются к корпусу, обеспечивая изменение объёма рабочей камеры
насоса. Форвакуумный насос изготовляется по схеме, изображён-