Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 39 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

39
6. Растворение. Травитель представляет собой жидкость, которая яв-
ляется растворителем для материала, подвергающегося травлению. Травле-
ние в расплавленном металле может рассматриваться как частный случай
растворения.
Эти шесть основных процессов, за исключением последнего, могут
использоваться для травления некоторых полупроводниковых соединений
типа А
3
В
5
.
Мы в работе применяли химический процесс травления. Для хими-
ческого травления можно использовать несколько различных видов реакти-
вов, но при одном единственном условии: нерастворимые продукты должны
отсутствовать. Травитель может быть раствором, расплавленной солью или
газом. Последними двумя травителями обычно пользуются при травлении
AlSb и BP.
Для разрушения ковалентной связи соединений А
3
В
5
необходимо
присутствие окисляющего агента, однако, некоторые соединения из-за
наличия ионной составляющей связи можно травить и соляной кислотой
(при этом следует быть осторожными, т.к. соляная кислота с элементом пя-
той группы таблицы Менделеева при вдыхании образует опасный ангид-
рид). В качестве окисляющих агентов могут быть использованы метало- ме-
таллоидные соединения и анионы. Известны такие окисляющие агенты как:
H
2
O
2
, HNO
3
, Fe
3+
, MnO
4
, Cr
2
O
7
2-
, Cl
4+
, V(OH)
4
+
. Но только первые два
нашли широкое применение. В большинстве случаев к окисляющему агенту
должен быть добавлен комплексный агент для образования стабильных
ионов в травителе. Для того, чтобы составить новый травитель, нужно при-
нимать во внимание химические свойства отдельных элементов. Имея в ви-
ду, что в большинстве случаев обязательно нужен окисляющий агент, жела-
тельно контролировать все возможные реакции между ионами и комплекса-
ми, присутствующими в растворе. Например, HNO
3
: HF - реактив для InSb,
однако, при продолжительном травлении в одном и том же растворе на об-
        6. Растворение. Травитель представляет собой жидкость, которая яв-
ляется растворителем для материала, подвергающегося травлению. Травле-
ние в расплавленном металле может рассматриваться как частный случай
растворения.
        Эти шесть основных процессов, за исключением последнего, могут
использоваться для травления некоторых полупроводниковых соединений
типа А 3 В 5 .

        Мы в работе применяли химический процесс травления. Для хими-
ческого травления можно использовать несколько различных видов реакти-
вов, но при одном единственном условии: нерастворимые продукты должны
отсутствовать. Травитель может быть раствором, расплавленной солью или
газом. Последними двумя травителями обычно пользуются при травлении
AlSb и BP.

        Для разрушения ковалентной связи соединений А 3 В 5 необходимо
присутствие окисляющего агента, однако, некоторые соединения из-за
наличия ионной составляющей связи можно травить и соляной кислотой
(при этом следует быть осторожными, т.к. соляная кислота с элементом пя-
той группы таблицы Менделеева при вдыхании образует опасный ангид-
рид). В качестве окисляющих агентов могут быть использованы метало- ме-
таллоидные соединения и анионы. Известны такие окисляющие агенты как:
H 2 O 2 , HNO 3 , Fe3+ , MnO 4 , Cr 2 O 7 2-, Cl4+, V(OH) 4 + . Но только первые два
нашли широкое применение. В большинстве случаев к окисляющему агенту
должен быть добавлен комплексный агент для образования стабильных
ионов в травителе. Для того, чтобы составить новый травитель, нужно при-
нимать во внимание химические свойства отдельных элементов. Имея в ви-
ду, что в большинстве случаев обязательно нужен окисляющий агент, жела-
тельно контролировать все возможные реакции между ионами и комплекса-
ми, присутствующими в растворе. Например, HNO 3 : HF - реактив для InSb,
однако, при продолжительном травлении в одном и том же растворе на об-


                                                                                       39

Страницы