Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 41 стр.

после разбавления могут выпасть в осадок в виде соли. При реакции с силь-
ноокисляющими агентами антимониды образуют нерастворимые окислы.

       Чтобы перевести сурьму в раствор, необходимо иметь комплексные
агенты, которыми могут быть фтористая, соляная, винная, молочная, лимон-
ная и щавелевая кислоты.

       Большинство из этих комплексных агентов или образуют комплексы
с индием или с ним не реагирует. Модификаторы и ингибиторы добавляют-
ся для изменения скорости и способа разрушения. Хотя при травлении уста-
новлены определённые соотношения компонентов, их можно с успехом из-
менять в определённых пределах.

       Регулируя время травления и температуру, можно компенсировать
разницу в скорости травления. Для антимонида индия нами использовался
травитель СР-4 (адская смесь) в следующем составе:

       - HNO 3 – азотная кислота – 25 мл

       -HF– плавиковая кислота – 15 мл

       -CH 3 COOH– уксусная кислота- 15 мл

       -Br 2 -         бром        - 0,3 мл

       Этот травитель найден чисто практически. Он даёт чистую поверх-
ность. Скорость травления относительно невелика.

       1. Арсенид индия и арсенид галлия.

       Если арсенид индия подвергается действию травителя с соляной
кислотой, то получаются чётко очерченные ямки, в то время как на арсениде
галлия этого не наблюдается. Арсениды реагируют и образуют комплексы с
большинством реактивов, применяемых для антимонидов. Сильнодейству-
ющие окислительные реактивы образуют с арсенидами растворимые мышь-
яковистые кислоты. Нерастворимых окислов, как в случае антимонидов, не
образуется.


                                                                      41