Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 42 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

42
Таким образом, водные растворы сильно действующих кислот могут
использоваться как травители. Серная кислота действует не только как ком-
плексный агент, но и увеличивает вязкость травителя, что важно при хими-
ческой полировке.
Для травления арсенида индия использовалась горячая смесь 10
H
2
O
2
: 1HNO
3
. Арсенид галлия в горячей смеси 5NaOH : 1 H
2
O
2
: 2H
2
O. По-
сле того как образцы протравлены в соответствующих травителях, произво-
дится завершающая операция – припайка выводов Холла
2.3.2. Изготовление омических контактов в полупроводниковых при-
борах из антимонида индия (JnSb)
Для изготовления различных приборов используются интерметалли-
ческие полупроводниковые соединения типа А
3
В
5
. К ним относятся в
первую очередь антимонид индия (JnSb) и арсенид индия (JnAs). Из этих
материалов разрабатываются и исследуются такие приборы как измерители
магнитных полей (датчики Холла), индикаторы проходящей мощности СВЧ
- диапазона, туннельные диоды и т. д.
Одной из основных проблем при создании и использовании назван-
ных приборов является проблема осуществления хорошего омического кон-
такта типа металл - полупроводник. В настоящей работе рассматривается
использование лазерной технологии при создании омического контакта типа
металл - полупроводник на туннельном диоде (ТД) из антимонида индия
(JnSb), и проводится проверка его качества.
Омический контакт, как правило, определяют как контакт, на кото-
ром не имеют место выпрямление и другие нелинейные эффекты. Однако,
это определение является упрощенным и не охватывает некоторые практи-
ческие моменты, важные для работы приборов, в частности, понятие о со-
противлении контакта. Более целесообразно рассматривать омический кон-
такт, как элемент, обеспечивающий прохождение электрического тока в по-
       Таким образом, водные растворы сильно действующих кислот могут
использоваться как травители. Серная кислота действует не только как ком-
плексный агент, но и увеличивает вязкость травителя, что важно при хими-
ческой полировке.

       Для травления арсенида индия использовалась горячая смесь 10
H 2 O 2 : 1HNO 3 . Арсенид галлия в горячей смеси 5NaOH : 1 H 2 O 2 : 2H 2 O. По-
сле того как образцы протравлены в соответствующих травителях, произво-
дится завершающая операция – припайка выводов Холла


       2.3.2. Изготовление омических контактов в полупроводниковых при-
борах из антимонида индия (JnSb)
       Для изготовления различных приборов используются интерметалли-
ческие полупроводниковые соединения типа А 3 В 5 . К ним относятся в
первую очередь антимонид индия (JnSb) и арсенид индия (JnAs). Из этих
материалов разрабатываются и исследуются такие приборы как измерители
магнитных полей (датчики Холла), индикаторы проходящей мощности СВЧ
- диапазона, туннельные диоды и т. д.
       Одной из основных проблем при создании и использовании назван-
ных приборов является проблема осуществления хорошего омического кон-
такта типа металл - полупроводник. В настоящей работе рассматривается
использование лазерной технологии при создании омического контакта типа
металл - полупроводник на туннельном диоде (ТД) из антимонида индия
(JnSb), и проводится проверка его качества.
       Омический контакт, как правило, определяют как контакт, на кото-
ром не имеют место выпрямление и другие нелинейные эффекты. Однако,
это определение является упрощенным и не охватывает некоторые практи-
ческие моменты, важные для работы приборов, в частности, понятие о со-
противлении контакта. Более целесообразно рассматривать омический кон-
такт, как элемент, обеспечивающий прохождение электрического тока в по-


                                                                              42

Страницы