Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 15 стр.

                                                             15

     Д ля опред еления коорд инаты точки сопряж ения м ож ет бы ть вы вед ено
аналитическое вы раж ение. У читы вая, что точка сопряж ения нах од ится за
точкой максим ум а распред еления, запиш ем
                              2Q                       (Rm − Rm )2            
                                                ⋅ exp  −                      
                                                         2 ∆ R p1 2
                       2π ( ∆ R P 1 + ∆ R P 2 )                                  = exp  (R0 − Rm )      
                                                                                                      2
                  =                                   
                                                                                                         ,
              *
          F
                               2Q                      (R0 − Rm )2                      2 ∆ R p1
                                                                                                    2
                                                                                                           
                                                ⋅ exp  −                      
                       2π ( ∆ R P 1 + ∆ R P 2 )          2 ∆ R p 12           

откуд а
                                          ( R0 − R m ) 2
                               ln F * =                    ⇒ R0 = R m + ∆ R P1 2 ln F * .                        (14)
                                            2∆ R P1
                                                      2




      Е сли под лож ка легирована исх од ной прим есью противополож ного типа с
концентрацией Nucx , то возм ож но возникновение од ного или д вух p-n
перех од ов. Глубина залегания xj1 первого p-n перех од а, располож енного в
области отповерх ности под лож ки д о м аксим ум а концентрации, нах од ится из
условия N΄(xj1)-Nucx=0, то есть
                                          2Q                 ( x j1 − Rm )2 
                                                      ⋅ exp  −               = N ucx ,
                                 2π ( ∆RP1 + ∆ RP 2 )           2∆ RP 2 2 
                                                            

                                                                        2Q
                               x j1 = R m − ∆ R P 2 2 ln                                    .                    (15)
                                                              2π ( ∆R P1 + ∆R P 2 ) N ucx


       Н ах ож д ение глубины залегания второго p-n перех од а, располож енного за
м аксим ум ом распред еления, буд ет зависеть от того, больш е или м еньш е
исх од ная концентрация концентрации ионно-им плантированной примеси N′(R0 )
вточкесопряж ения экспоненциального “х воста”.




                      Рис. 7. Распред елениеионно-им плантированны х примесей
                            вразориентированной кристаллической м иш ени
                      (сопряж енная гауссиана) сучетом эф ф екта каналирования.