Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 19 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

19
Программный блок для расчета
функции распределения Пирсон -4
A
fz()z1
zRp−()
∆Rp
←
z24b
0
⋅ b
2
⋅ b
1
2
−←
z3
1
2b
2
⋅
lnb
2
z1
2
⋅ b
1
z1⋅+ b
0
+
()
⋅←
z4
b
1
1
b
2
2+
⋅
z2
atan
2b
2
⋅ z1⋅ b
1
+
z2
⋅←
e
z3z4−
:=
Расчет нормирующего
коэффициента
Nm
Q
0
40Rp⋅
ζf ζ
()
⌠
⌡
d
:=
Задание числа точек и шага по х
n1000:= x
max
Rp20 ∆Rp⋅+:= h
x
max
n
:=
Расчет профиля в приближении
Пирсон-4 и определение
максимальной концентрации
i0n..:= x
i
ih⋅:= N
i
Nmfx
i
()
⋅ N0−:= NmaxmaxN():=
Расчет координаты точки
сопряжения
x1510
5−
⋅:= R
0
root
Nm
Nmax
fx1()⋅ F⋅ 1− x1,
:=
Расчет концентрационного профиля в приближении Пирсон -4
с учетом эффекта каналирования
N1
i
ifx
i
R
0
≤ Nmfx
i
()
⋅ N0−, NmfR
0
()
⋅ e
x
i
R
0
−
(
)
−
λ
⋅ N0−,
:=
05
.
10
5
1
.
10
4
1.5
.
10
4
2
.
10
4
1
.
10
12
1
.
10
13
1
.
10
14
1
.
10
15
1
.
10
16
1
.
10
17
1
.
10
18
1
.
10
19
x, cm
N, cm-3
Рис. 7. Распределение Пирсон-4 с учетом эффекта каналирования для бора ,
имплантированного с энергией 100 кэВ и дозой 10
14
см
-2
в разориентированный кремний с исходной концентрацией 1,8⋅10
14
см
-3
.
p-n перехода в см
x
j2
root
Nm
N0
fR
0
()
⋅ e
x1R
0
−
()
−
λ
⋅ 1−x1,
:= x
j2
8.18410
5−
×=
                                                                                19
                                                                                                                                                          A
Програм м ны й блокд ля расчета                                                                 ( z − Rp)
                                                                      f ( z) := z1 ←
ф ункции распред еления Пирсон-4                                                                  ∆Rp
                                                                                                                                  2
                                                                                   z2 ←           4⋅ b 0⋅ b 2 − b 1

                                                                                   z3 ←
                                                                                                   1
                                                                                                2⋅ b 2
                                                                                                                 (                 2
                                                                                                            ⋅ ln b 2 ⋅ z1 + b 1 ⋅ z1 + b 0                    )
                                                                                                b 1 ⋅              + 2 
                                                                                                            1

                                                                                   z4 ←
                                                                                                           b2              ⋅ atan  2 ⋅ b 2 ⋅ z1 + b 1 
                                                                                                            z2                                 z2         
                                                                                       z3− z4
                                                                                   e
Расчетнорм ирую щ его                                                                      Q
                                                                      Nm :=
коэф ф ициента                                                                 ⌠
                                                                                    40 ⋅Rp
                                                                                             f (ζ) dζ
                                                                               ⌡0
Зад аниечисла точек и ш ага по х                                                                                                                              xmax
                                                                       n := 1000                 xmax := Rp + 20 ⋅ ∆Rp                                 h :=
                                                                                                                                                               n
Расчетпроф иля вприближ ении
Пирсон-4 и опред еление                                                i := 0.. n         xi := i ⋅ h Ni := Nm ⋅ f ( xi) − N0                             Nmax := max( N)
м аксим альной концентрации
Расчеткоорд инаты точки
                                                                                                   R0 := root                        ⋅ f ( x1) ⋅ F − 1, x1
                                                                                         −5                                 Nm
                                                                       x1 := 5 ⋅ 10
сопряж ения                                                                                                               Nmax                                   

                       Расчетконцентрационного проф иля вприближ ении Пирсон-4
                                   сучетом эф ф екта каналирования

                                                                                                                    − ( xi − R 0)                 
                                             
                                   N1i := if  xi ≤ R 0 ,    Nm ⋅ f ( xi) − N0 , Nm ⋅ f (R 0) ⋅ e
                                                                                                                           λ
                                                                                                                                       − N0
                                                                                                                                                   
                                                                                                                                                   

                      1 .10
                              19



                      1 .10
                              18



                      1 .10
                              17



                      1 .10
                              16
            N, cm-3




                      1 .10
                              15



                      1 .10
                              14



                      1 .10
                              13



                      1 .10
                              12

                                                     5 .10                1 .10                        1.5 .10                         2 .10
                                                             5                   4                               4                             4
                                     0
                                                                           x, cm


       Рис. 7. Распред елениеПирсон-4 сучетом эф ф екта каналирования д ля бора,
                 им плантированного сэнергией 100 кэВ и д озой 1014 см -2
        вразориентированны й крем ний сисх од ной концентрацией 1,8⋅1014 см -3.

                                                                                                − ( x1 − R0)
Расчет глубины                           залегания                                                                                  
                                                                                   ⋅ f (R0) ⋅ e
                                                                                Nm                   λ                                                                −5
p-n перех од а всм                                               xj2 := root                                                  − 1, x1            xj2 = 8.184 × 10
                                                                               N0                                                     

Страницы