Полевой транзистор с барьером Шоттки - 5 стр.

UptoLike

7
арсенида галлия определились как самостоятельное направление развития СВЧ
техники. Важнейшими качествами таких микросхем по сравнению с
микросхемами на биполярных транзисторах являются более высокое
быстродействие и лучшие шумовые характеристики. Именно эти параметры и
определили основные области их применения. Они широко используются в
радиоприёмной, радиопередающей и измерительной аппаратуре СВЧ диапазона.
2 ОДНОЗАТВОРНЫЙ
ПТШ
2.1 Устройство
Полевые транзисторы СВЧ являются тонкоплёночными приборами. Их
изготавливают, как правило, из арсенида галлия с электронной проводимостью.
Наибольшее распространение получили приборы с затвором Шоттки. Структура
полевого транзистора с барьером Шоттки изображена на рисунке 1.
Рисунок 1 – Структура ПТШ
Эпитаксиальная плёнка 1 в этих приборах наращивается на поверхность
полупроводниковой подложки 2 е низкой концентрацией примесей (удельное