Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В - 13 стр.

                                            13

                                           Решен и е

       Предел ьн ая раствори м ость ф осф ора в к рем н и и при 1050 оС равн а
CS=1021 см -3.
                                                                                     о
       В      у сл ови ях задачи       (при      тем перату ре свыше 1000             С)
к л астерообразован и е м ожн о н е рассм атри вать, и к оэф ф и ци ен т ди ф ф у зи и
бу дем    оцен и вать по зак он у Аррен и у са с частотн ым                  ф ак тором
           -3      2
D0=1.2⋅10 см /c и эн ерги ей ак ти ваци и ΔE=2.5 эВ .
       Подви жн ость осн овн ых н оси тел ей            заряда рассчи тывается по
при веден н ым в дан н ом раздел е соотн ошен и ям , а erf-ф у н к ци я– разл ожен и ем
подын теграл ьн ой ф у н к ци и в ряд Т ей л ора.
       Дл ярешен и язадачи составл ен а програм м а PR1, к отораян апи сан а н а
язык е Паск ал ь.

       Program PR1;
  const q=1.6e-19;
  k=8.62e-5;
  var x,c:array[0..210] of double;
       h,cs,ci,d,tem,time,dt,r,xmax,xj:double;
     i,n:integer;
        t:text;
        o:char;
  function dp(z:double):double;
   begin
      dp:=1.2e-3*exp(-2.5/(k*z))
  end;
  function erf(z:double):double;
                 var s,sx:double;
               j:integer;
    begin
      sx:=z;
      s:=z;
      j:=1;
     repeat
                  sx:=-sx*z/(2*j+1)*z/j*(2*j-1);
               s:=s+sx;
               j:=j+1;
       until abs(sx)<1e-10;
        erf:=s*2/sqrt(3.141592653589)
  end;
  function erfc(z:double):double;
   begin
  erfc:=1-erf(z)
  end;
  function mp(z:double):double;