ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
23
ЛИТЕРАТУРА
1. Березин Б.И., Мочалкина О .П. Технология и конструирование интегральных
микросхем . – М .: Радио и связь, 1992. – 319 с.
2. Бронштейн И.Н., Семендяев К .А. Справочник по математике. – М .: Наука,
1986. – 320 с.
3. Курносов А.И ., Юдин Б.Б. Технология производства полупроводниковых
приборов и интегральных схем . – М .: Высшая школа, 1986. – 388 с.
4. Матсон Э .А. Конструирование и расчет микросхем и элементов ЭВА. – Минск :
Вышейшая школа, 1979. – 192 с.
5. Пичугин И.Г., Таиров Ю .Н. Технология полупроводниковых приборов. – М .:
Высшая школа, 1984. – 288 с.
6. Плис А.И., Сливина Н.А. Лабораторный практикум по высшей математике. –
М .: Высшая школа, 1994. – 416 с.
7. Технология СБИС. В 2 - х кн. / Под ред. Зи С. – М .: Мир, 1986. – Т . 1. – 404 с.;
Т . 2. – 433 с.
8. Математическое моделирование технологических процессов в
микроэлектронике. Часть 1. Диффузия. / Г.В . Быкадорова, Л .А. Битюцкая, В .А.
Гольдфарб, под общ . ред. И .С. Суровцева. – Воронеж: ВГУ , 1997. - 116 с.
Составили: Быкадорова Галина Владимировна
Гольдфарб Владимир Абрамович
Кожевников Владимир Андреевич
Гашков Андрей Николаевич
Асессоров Валерий Викторович
Редактор: Бунина Т.Д.
23 Л И Т Е РАТ У РА 1. Берези н Б.И ., М очал к и н а О .П. Т ехн ол оги яи к он стру и рован и е и н теграл ьн ых м и к росхем . – М .: Ради о и связь, 1992. – 319 с. 2. Брон штей н И .Н., Сем ен дяев К .А. Справочн и к по м атем ати к е. – М .: Нау к а, 1986. – 320 с. 3. К у рн осов А.И ., Ю ди н Б.Б. Т ехн ол оги я прои зводства пол у проводн и к овых при боров и и н теграл ьн ыхсхем . – М .: В ысшаяшк ол а, 1986. – 388 с. 4. М атсон Э .А. К он стру и рован и е и расчет м и к росхем и эл ем ен тов Э В А. – М и н ск : В ышей шаяшк ол а, 1979. – 192 с. 5. Пи чу ги н И .Г., Т аи ров Ю .Н. Т ехн ол оги япол у проводн и к овых при боров. – М .: В ысшаяшк ол а, 1984. – 288 с. 6. Пл и с А.И ., Сл и ви н а Н.А. Л абораторн ый прак ти к у м по высшей м атем ати к е. – М .: В ысшаяшк ол а, 1994. – 416 с. 7. Т ехн ол оги яСБИ С. В 2 - х к н . / Под ред. Зи С. – М .: М и р, 1986. – Т . 1. – 404 с.; Т . 2. – 433 с. 8. М атем ати ческ ое м одел и рован и е техн ол оги ческ и х процессов в м и к роэл ек трон и к е. Часть 1. Ди ф ф у зи я. / Г.В . Бык адорова, Л .А. Би тю цк ая, В .А. Гол ьдф арб, под общ. ред. И .С. Су ровцева. – В орон еж: В ГУ , 1997. - 116 с. Состави л и : Бык адорова Гал и н а В л ади м и ровн а Гол ьдф арб В л ади м и р Абрам ови ч К ожевн и к ов В л ади м и р Ан дрееви ч Гашк ов Ан дрей Ни к ол аеви ч Асессоров В ал ери й В и к торови ч Редак тор: Бу н и н а Т .Д.