Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В - 23 стр.

UptoLike

Рубрика: 

23
ЛИТЕРАТУРА
1. Березин Б.И., Мочалкина О .П. Технология и конструирование интегральных
микросхем . М .: Радио и связь, 1992. 319 с.
2. Бронштейн И.Н., Семендяев К .А. Справочник по математике. М .: Наука,
1986. 320 с.
3. Курносов А.И ., Юдин Б.Б. Технология производства полупроводниковых
приборов и интегральных схем . М .: Высшая школа, 1986. 388 с.
4. Матсон Э .А. Конструирование и расчет микросхем и элементов ЭВА. Минск :
Вышейшая школа, 1979. 192 с.
5. Пичугин И.Г., Таиров Ю .Н. Технология полупроводниковых приборов. М .:
Высшая школа, 1984. 288 с.
6. Плис А.И., Сливина Н.А. Лабораторный практикум по высшей математике.
М .: Высшая школа, 1994. 416 с.
7. Технология СБИС. В 2 - х кн. / Под ред. Зи С. М .: Мир, 1986. Т . 1. 404 с.;
Т . 2. 433 с.
8. Математическое моделирование технологических процессов в
микроэлектронике. Часть 1. Диффузия. / Г.В . Быкадорова, Л .А. Битюцкая, В .А.
Гольдфарб, под общ . ред. И .С. Суровцева. Воронеж: ВГУ , 1997. - 116 с.
Составили: Быкадорова Галина Владимировна
Гольдфарб Владимир Абрамович
Кожевников Владимир Андреевич
Гашков Андрей Николаевич
Асессоров Валерий Викторович
Редактор: Бунина Т.Д.
                                                    23
                                             Л И Т Е РАТ У РА

1.   Берези н Б.И ., М очал к и н а О .П. Т ехн ол оги яи к он стру и рован и е и н теграл ьн ых
     м и к росхем . – М .: Ради о и связь, 1992. – 319 с.
2.   Брон штей н И .Н., Сем ен дяев К .А. Справочн и к по м атем ати к е. – М .: Нау к а,
     1986. – 320 с.
3.   К у рн осов А.И ., Ю ди н Б.Б. Т ехн ол оги я прои зводства пол у проводн и к овых
     при боров и и н теграл ьн ыхсхем . – М .: В ысшаяшк ол а, 1986. – 388 с.
4.   М атсон Э .А. К он стру и рован и е и расчет м и к росхем и эл ем ен тов Э В А. – М и н ск :
     В ышей шаяшк ол а, 1979. – 192 с.
5.   Пи чу ги н И .Г., Т аи ров Ю .Н. Т ехн ол оги япол у проводн и к овых при боров. – М .:
     В ысшаяшк ол а, 1984. – 288 с.
6.   Пл и с А.И ., Сл и ви н а Н.А. Л абораторн ый прак ти к у м по высшей м атем ати к е. –
     М .: В ысшаяшк ол а, 1994. – 416 с.
7.   Т ехн ол оги яСБИ С. В 2 - х к н . / Под ред. Зи С. – М .: М и р, 1986. – Т . 1. – 404 с.;
     Т . 2. – 433 с.
8.   М атем ати ческ ое         м одел и рован и е       техн ол оги ческ и х    процессов         в
     м и к роэл ек трон и к е. Часть 1. Ди ф ф у зи я. / Г.В . Бык адорова, Л .А. Би тю цк ая, В .А.
     Гол ьдф арб, под общ. ред. И .С. Су ровцева. – В орон еж: В ГУ , 1997. - 116 с.




Состави л и : Бык адорова Гал и н а В л ади м и ровн а
              Гол ьдф арб В л ади м и р Абрам ови ч
              К ожевн и к ов В л ади м и р Ан дрееви ч
              Гашк ов Ан дрей Ни к ол аеви ч
              Асессоров В ал ери й В и к торови ч

Редак тор: Бу н и н а Т .Д.