ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
22
переход, глубина залегания которого может иметь значение от 3 до 3.5 мкм при
времени диффузии в течение 1.2 часа .
Определить температурный диапазон , который обеспечивает создание p-n
переходов в заданном интервале.
6. Для создания p-n перехода на глубине 2.9 мкм рассчитать температуру
диффузии на стадии разгонки примеси бора в течение 1 часа из ограниченного
источника, образованного в кремниевой подложке с удельным сопротивлением
4.5 Ом⋅см диффузией из бесконечного источника с концентрацией , равной
максимальной растворимости , при температуре 1100
0
С в течение 15 минут.
7. На стадии загонки фосфора в кремний р-типа с удельной электропроводностью
0.2 Ом
-1
см
-1
был сформирован при 1150
0
С в течение 20 минут источник
фосфора с поверхностной концентрацией 10
12
см
-2
. Определить:
а) при какой температуре разгонки в течение 1 часа глубина залегания р-n
перехода будет равна 3.2 мкм ;
б) при каком времени разгонки с температурой 1050
0
С глубина залегания р-n
перехода составит величину 3 мкм .
8. На поверхности кремниевой пластины n-типа с удельным сопротивлением
4.5 Ом⋅см находится ограниченный источник бора мощностью 10
13
см
-2
.
На стадии разгонки рассчитать и построить:
а) зависимость времени разгонки фосфора от глубины залегания р-n переходов
в интервале 0.5÷4 мкм при температуре 1000
0
С;
б) зависимость температуры разгонки фосфора от глубины залегания р-n
переходов в интервале 0.5÷4.0 мкм при времени разгонки 1 час.
9. Предложите технологические режимы стадий загонки и разгонки примеси бора
в кремниевой пластине с исходной концентрацией 5
315
10
−
⋅ см
для получения р-n
перехода на глубине 4 мкм .
22
переход, гл у би н а зал еган и як оторого м ожет и м еть зн ачен и е от 3 до 3.5 м к м при
врем ен и ди ф ф у зи и в течен и е 1.2 часа.
О предел и ть тем перату рн ый ди апазон , к оторый обеспечи вает создан и е p-n
переходов в задан н ом и н тервал е.
6. Дл я создан и я p-n перехода н а гл у би н е 2.9 м к м рассчи тать тем перату ру
ди ф ф у зи и н а стади и разгон к и при м еси бора в течен и е 1 часа и з огран и чен н ого
и сточн и к а, образован н ого в к рем н и евой подл ожк е су дел ьн ым сопроти вл ен и ем
4.5 О м ⋅см ди ф ф у зи ей и з беск он ечн ого и сточн и к а с к он цен траци ей , равн ой
м ак си м ал ьн ой раствори м ости , при тем перату ре 1100 0С в течен и е 15 м и н у т.
7. На стади и загон к и ф осф ора в к рем н и й р-ти па су дел ьн ой эл ек тропроводн остью
0.2 О м -1см -1 был сф орм и рован при 1150 0С в течен и е 20 м и н у т и сточн и к
ф осф ора споверхн остн ой к он цен траци ей 1012 см -2. О предел и ть:
а) при к ак ой тем перату ре разгон к и в течен и е 1 часа гл у би н а зал еган и я р-n
перехода бу дет равн а 3.2 м к м ;
б) при к ак ом врем ен и разгон к и стем перату рой 1050 0С гл у би н а зал еган и яр-n
перехода состави т вел и чи н у 3 м к м .
8. На поверхн ости к рем н и евой пл асти н ы n-ти па с у дел ьн ым сопроти вл ен и ем
4.5 О м ⋅см н аходи тсяогран и чен н ый и сточн и к бора м ощн остью 1013 см -2.
На стади и разгон к и рассчи тать и построи ть:
а) зави си м ость врем ен и разгон к и ф осф ора от гл у би н ы зал еган и яр-n переходов
в и н тервал е 0.5÷4 м к м при тем перату ре 1000 0С;
б) зави си м ость тем перату ры разгон к и ф осф ора от гл у би н ы зал еган и я р-n
переходов в и н тервал е 0.5÷4.0 м к м при врем ен и разгон к и 1 час.
9. Предл ожи те техн ол оги ческ и е режи м ы стади й загон к и и разгон к и при м еси бора
в к рем н и евой пл асти н е си сходн ой к он цен траци ей 5 ⋅ 1015 см −3 дл япол у чен и яр-n
перехода н а гл у би н е 4 м к м .
